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クリーン化技術入門 第２回「クリーンルーム の清浄度とクラス」
（株）テクノ菱和
1.清浄度の定義 JIS Z 8122（コンタミネーションコントロール用語）1)によると、清浄度とは「対象物の清浄状態を示す量」と定義されている。具体的には、一定の面積あるいは体積に含まれている制御対象物質（汚染物質）の大きさ、個数、質量で表される。特定のある場所または容積中に存在する汚染物質の量、もしくは粒子の大きさ別の数によって格付けられた清浄度の程度を清浄度レベル、清浄度レベルを等級分けしたものを清浄度クラスという2)。
2.清浄度クラス1とは 半導体製造等のインダストリアルクリーンルームでは、清浄度は浮遊微粒子に関する空気の清浄度を指すのが一般的であり、そのレベルは空気1立方メートル中にどれくらいの大きさの粒子が何個あるかによって決まる。クリーンルームの清浄度を定める規格ISO14644-1で表記されている清浄度クラスを例に取ると、ISOクラス1という清浄度において、空気1立方メートル中に許容されるゴミの大きさと個数は、大きさ0.1μmの粒子で10個以下である。これを太平洋中に存在する魚の数で表現する備考1)と、「アジ」が10匹泳いでいるかいないかという程度である。
3.清浄度の規格 クリーンルームの清浄度に関わる規格は、米国連邦規格（Fed. Std. 209）、米国航空宇宙局規格（NBH 5340 2）、英国規格協会規格（BS 5295-1）、ドイツ規格（VDI 2083）、日本工業規格（JIS B 9920）などがある。このなかで、米国連邦規格Fed. Std. 209Dで規定されていた清浄度クラス表記（1ft3中に存在する粒子の最大許容粒子で表現）は直感的で分かりやすく、日本においても長らく使用されてきた。一方、様々な基準が国際統一化へと進むなか、クリーンルーム関連の規格もISO（International Standard Organization）のTC（Technical Committee）209にて審議され、清浄度に関する規格ISO14644-1が1999年に成立した。これに伴い米国連邦規格が2001年に廃止されたほか、日本工業規格も2002年に改訂された備考2）。ただし現場レベルでは、米国連邦規格Fed. Std. 209Dによる「クラス1000」という表現やそれを準用する形で、「0.1μmクラス100」という通称が用いられることが多く、ISO規格との併用がしばらく続くものと思われる。なお、Fed. Std. 209Dによる「クラス1000」はISOクラス6相当、通称「0.1μmクラス100」はISOクラス3.5相当となる。
備考1) 太平洋の基礎データ(面積1億6600万km2、平均深さ3.94km、容積6億5400万km3)を用いて計算すると、ビール缶（350cc）くらいの大きさの魚（ここでは「アジ」とした）が10匹となる。 備考2) ISO14644-1における清浄度のクラス分類法は、JIS B 9920で規定されていた方法（10のべき乗で清浄度クラスを表現）と同じで下式となる。ただしISOでは粒径0.1μm〜5μmの清浄度クラスが9まで規定されていることや、0.1μm未満あるいは5μmを超える粒子が定義されていることなどから、ISO規格への整合性を図るため2002年に改訂された。 Cn=10N×(0.1/D)2.08 Cn:粒径以上の上限濃度（個/m3）、N:清浄度クラス、D:粒径（μm）
参考・引用文献 1) JIS Z 8122-2000「コンタミネーションコントロール用語」 2) 環境科学フォーラム編；クリーンルーム用語早わかり、p83（1999） 図表付きレポート全文（PDF, 704KB） |
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