クリーン化技術入門

（株）テクノ菱和
田村　一

第1回　クリーンルームとは

・基本原則

・クリーンルームの種類

・クリーンルームの歴史

第2回　清浄度とクラス

・清浄度の定義

・清浄度クラス１とは

・清浄度の規格

第3回    クリーンルームの要求清浄度

・清浄度の要因項目と要求値

・ITRSにおける要求値

・ウェーハ表面濃度と気中濃度

第4回　クリーンルームの性能評価（1）

・微粒子の測定方法

・パーティクルカウンタによる測定時の留意点

・パーティクルカウンタで得られる測定値と誤差要因

・高清浄度環境下の測定

第5回　クリーンルームの性能評価（2）

・分子状汚染物質の分類

・分子状汚染物質の清浄度

・分子状汚染物質の測定法

・測定時の注意事項

第6回　清浄化（1） 外調機におけるAMC湿式除去システム

・室内濃度に影響を与える因子

・外気に含まれるAMC

・AMCの除去方式

・湿式除去システムの例

第7回　清浄化 （2） ミニエンバイロメント

・クリーンルームの形式の変化

・局所清浄化

・ミニエンバイロメント

・ミニエンバイロメント方式のメリットと検討事項

第8回　作業者の管理

・作業者管理の必要性

・人体から発生する微粒子

・人体から発生する分子上汚染物質

・クリーンルーム内での行動と作業方法

・作業者への教育と入退室時の注意事項

第9回　 静電気対策とコロナ放電式イオナイザの管理

・半導体製造工程における静電気問題

・静電気の発生機構

・静電気対策

・コロナ放電式イオナイザの種類

・コロナ放電式イオナイザの問題点

・発塵対策

第10回 クリーンルームの清掃

・清掃の目的

・清掃の効果

・室内の清掃方法および清掃頻度の例

・清掃用具の管理

・清掃時の留意事項

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最終更新日 : 2008/01/09