SOPT News -- Vol.25(2003/01/23)
ＳＯＰＴ会員各位
お世話になっております。今年もよろしくお願いいたします。
園田ＳＯＰＴ副委員長も昨年末関西より福岡に戻り、ますます会の発展に燃えております。
２ヶ月間ＳＯＰＴ NEWS発行が遅れておりましたが久々にお楽しみ下さい。
まだ寒い日が続いておりますが、木々の枝々には春の息吹が感じられます。
季節柄、風邪など引かれないようご自愛下さい。 ＳＯＰＴ事務局
記
＜ちょっと一言＞
１月２０日の朝のニュースにどきっとした。貴乃花の引退問題ではない。半導体先端デバイスにとって明るいニュースである。今年中に国内デバイスメーカーが９０ｎｍを量産する。東芝が夏ごろを目処にスタートし、続いて年内にはNEC，富士通とこれに続く。
ニュースでは、何故か三菱・日立の紹介はなかったので、不思議に思ったが、真相はすぐにわかった。そう言えば、４月から両者の半導体部門はシステムLSIを中心に合併し、ルネサステクノロジーに社名変更する予定で、今が胸突き八丁の超忙しい時期、それどころではなかろう。これで近いうちにルネサスが歩調を合わせたら、先端デバイスで日本は再び世界をリードできる。
９０ｎｍはもちろん配線幅０．０９μｍのデバイスで、昨年０．１３,０．１５μｍの世代だったので、あっという間に0.1μｍを切っていった。これは大きい。配線抵抗が微細化になり２０％低減できる。長引く不況は半導体の不振でもあったが、これで2003年は明るくなった。半導体は活気を取り戻すだろう。
＜ヘッド ライン＞
■世界半導体生産、2003年は15％以上の成長（１／15半導体新聞より）
■Brooks半導体クリーン化技術セミナー（セミコン2002併設記念セミナー）
九州経済局の松本様より
我らの九州工業大学 浅野教授が委員長を務めてます
■１／３０「半導体ビジネスワークショップ大分」開催の御案内
九州経済局の藤井様より２件
■「九州大学ベンチャービジネスラボラトリー研究成果発表会」
開催のご案内
■会員情報・企業紹介２件
＜トピックス＞
■世界半導体生産、2003年は15％以上の成長（１／15半導体新聞より）
急上昇する自動車用半導体、2兆円以上のマーケット／バイオMEMS、ロボット、流通など新アプリ本格化／エリアでは消費、生産ともに「中国」がキーワード。
国内半導体設備投資、2003年は急上昇主要33社で前年度比55.5％増の7000億円／東芝、NEC、松下などは300mmの大型計画始動
インフィニオン、300mm技術が200mm生産のコスト分岐点に到達／03年夏までに最大30％のコスト低減／03年にドレスデンに0.11μm導入
プロマックス・ジョントン、沖縄県に後工程工場建設予定／メード・イン・ジャパンは世界の信用
JEITA、ITRS2002アップデート報告会開催／90nmテクノロジーノード、2004年導入予測／2003年はナノテクノロジー元年
自動車用半導体、2006年に2.5兆円市場／堅実成長で通信、デジタル家電に並ぶ勢い／今や半導体業界の合言葉「勝ち馬に乗れ！」
国内自動車メーカー11社の02年度連結設備投資／合計で2兆1226億円に／中国・アジア・欧州への進出が活発化
半導体・液晶・電子材料 価格相場情報／携帯電話用カラー液晶の価格下落
上海の半導体設計カンパニー、2004年に倍増の150 社／上海集成電路設計研究中心は今後1億元を投資／年内にも0.13～0.15μmデザインに着手
Xイニシアティブ発表／ニコン、Xイニシアティブに参加表明／斜め45度配線技術を利用する手法、実用レベルへ／新しい製造のサプライチェーンを評価
日立製作所、大規模FPGAモジュールの新モデル発売／専用PCIボード搭載のプロトタイピングシステム
国内メーカー中国進出2002年一覧／件数は137件／エレクトロニクス関連の進出目立つ
富士電機、新会社富士エクサス設立／グループ内のプリント基板生産を集約
三菱重工がMCR-CVDを開発／塩素プラズマのみで金属膜／45nm以降のCuなど成膜
日立ハイテク、半導体製造関連装置のリユースビジネスを本格展開／中古装置部門を新設
台湾に新たな液晶メーカー誕生／コネクターメーカーのFOXCONNが新会社設立へ／1000億円投じ、TFTの先端ライン構築
■Brooks半導体クリーン化技術セミナー（セミコン２００２併設記念セミナー）
１２月６日、セミコンジャパン併設プライベートセミナーとして東京国際フォーラムにおいて半導体クリーン化技術セミナーが開催された。当研究会から、園田副委員長が0.13以降のクリーン化技術を講演、松石事務局長がシンポジウムに参画した。今回は、東芝嶋崎氏・富士通長田氏・竹中工務店呂氏・Brooks Friｃkinger氏の講演もあり、ミニエンを話題として活発な討論が行なわれた。
すでに、0.13以降９０ｎｍ時代に向け、FOUP,SMIFなどの実施例や問題点なども講師から報告され、聴講者も参考になったとの声も大きかった。特に、園田氏の講演は、ケミカル汚染・Cu汚染・超純水の要求レベル・静電気対策など、具体的な解説もあり耳を傾ける聴講者が目立った。
参考までに、公開された資料うちメモリー容量の関係で嶋崎氏・園田氏のみを本ニュースに添付させていただいた。
（全演題必要時は事務局に申し出頂きたい。別途お送りします）
[<BR><A HREF="/nihon/sopt.nsf/files/pdf/$file/SOPT_N25_1.pdf"
Target="new">300mmｸﾘｰﾝ化技術動向（PDF）</A>]
[<BR><A HREF="/nihon/sopt.nsf/files/pdf/$file/SOPT_N25_2.pdf"
Target="new">東芝嶋崎氏_ミニエンバイロメントにおけるケミカルコンタミネーション（PDF）</A>]
■１／３０「半導体ビジネスワークショップ大分」開催の御案内
【イノベーション協議会】
本日は、半導体ビジネスの今後を展望するワークショップ開催のご案内です。
◎日時 1/30（木）15:30-18:30
◎場所 大分県別府市 別府パストラル ℡0977-23-4201
大分で活躍の半導体関連企業約３０社との交流する絶好の機会です。奮って御参加ください。
参加申し込みは、
kyushu@si-cluster.jp、または返信メールで当方まで、お名前とご所属を明記の上、送付ください（参加無料）。
－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－
－半導体ビジネス創造ワークショップ大分－
＜プログラム＞
（開催趣旨）
半導体産業は、世界規模での熾烈な競争と新たな応用市場が模索されている中、我が国では大手デバイスメーカーを中心とした選択と集中が進み、産業全体においてビジネスモデルが再構築されつつあります。
こうした中で、取引関係の流動化をはじめ、ビジネス環境の変化が著しい関連産業集積地域における、中堅・中小企業は、新たなビジネスフロンティアの創造へ向けた模索と挑戦に直面していると考えられます。同時に、大分県をはじめとした九州地域は、特色ある半導体関連企業群の形成と発展に向けた転換期を迎えています。
本ワークショップでは、九州半導体産業集積（シリコン・クラスター）を形づくっている中堅・中小・ベンチャー企業の経営・技術・市場等の革新と創造を図っていくため、大分・九州内外における産学官の関係者がお互いに触発しあい、新しいビジネスの創造を展望・議論するために開催いたします。
テーマ；「新たな市場・技術を見据えた中小企業のビジネスチャンスの展望」
１５：３０ ●オープニング・スピーチ
大分県半導体関連企業ビジネスチャンス研究会会長 杉山佳延
１５：４５ ●発題 「半導体関連ビジネス創造環境の構築と創造すべきもの」
九州工業大学 マイクロ化総合技術センター教授 浅野種正
１６：００
－１７：３０ ●パネルディスカッション
（コーディネータ）
石原政道 ㈱福岡ソフトリサーチパーク 技術開発コーディネータ
（パネリスト）
井上純徳 エスティケーテクノロジー㈱電気計測事業部 マネージャー
柏木正弘 元アプライドマテリアルズジャパン㈱技師長、元㈱東芝主席技監
久保田弘 熊本大学工学部教授（熊本県地域結集型共同研究事業研究統括）
手嶋孝一 ㈱デンケン システムソリューション事業部 統括部長
森 直樹 ㈱メイホー Ｒ＆Ｄセンター 研究主幹
１７：３０
－１８：３０ 交流会 「白鳥の間」（参加者による軽食パーティー：立食）
★送信者
九州経済産業局 産業部 情報政策課
調査官 松本 直明（Naoaki,Matsumoto)
e-mail:matsumoto-naoaki@meti.go.jp
〒812-8546 福岡市博多区博多駅東2-11-1
ＴＥＬ：092-482-5440 / ＦＡＸ：092-482-5538
ＵＲＬ：http://www.kyushu.meti.go.jp
■九州大学ベンチャービジネスラボラトリー研究成果発表会開催のご案内です。九州経済局の藤井様より
なお、この情報は九州大学・服部先生から戴きました。
平成14年度ベンチャービジネスラボラトリー（VBL）研究成果発表会
～九州大学におけるアナログLSI開発(ディスプレイドライバー、RFチップ、イメージセンサー）～
今年の九州大学VBL研究成果発表会ではアナログLSI設計に関する講演を集めました．
九州における半導体産業をさらに一層盛んにするためにも，多くの方々がお集まりいただくことを願っております.
また，これら分野に関係するお知り合いがおられましたならば，是非転送していただけるようお願いいたします．
日時：２００３年２月６日(木曜日)
場所：九州大学箱崎キャンパス，ベンチャービジネスラボラトリー（VBL）３Fゼミナール室
http://www.vbl.kyushu-u.ac.jp/images/vbl_map.gif
問い合わせ先：九州大学 服部励治 hattori@ed.kyushu-u.ac.jp
プログラム：
センター長挨拶(13:00-13:10) 第１部 VBL研究プロジェクト成果発表 （13：10－15：10）
13：10－13：40 「有機ELディスプレイドライバーの開発」
服部励治助教授（大学院システム情報科学研究院）
13：40－14：10 「RF-CMOSフロントエンドの開発」
金谷晴一 助手（大学院システム情報科学研究院）
14：10－14：40 「感度自動調整機構を有する固体撮像素子の開発」
廣津 寿一（大学院システム情報科学研究院）
14：40－15：00 「九州における半導体ベンチャー」
土屋忠明（ロジックリサーチ 社長、九州JASVA代表） 第2部 VBL院生助成研究プロジェクト成果ポスター発表（15：00－16：00） 「プラズマ異方性CDVによる超高集積回路内配線銅薄膜作製」
竹中 弘祐（システム情報科学府電子デバイス工学専攻 博士１年） 「システムインディスプレイのための擬似単結晶Si/絶縁膜の創出～結晶方位の制御～」
長友 圭（システム情報科学府電子デバイス工学専攻 修士２年） 「超広帯域・多波長フレキシブルレーザーアレイの開発」
田中 敬史（システム情報科学府電子デバイス工学専攻 修士１年） 「ゲート電極用多結晶SiGe薄膜の特性解析：粒内／粒界特性の分離」
松浦 良（システム情報科学府電子デバイス工学専攻 修士１年） 「集積可能な有機薄膜発光トランジスタの開発」
安田 剛（総合理工学府量子プロセス理工学専攻 博士２年） 「レーザー生成プラズマEUV光源用Snナノ微粒子分散ターゲットの開発」
田中 博樹（システム情報科学府電気電子システム工学専攻 修士２年） 「フォトクロミック分子を用いた高密度光記録媒体の開発とその非破壊読み出し手法の検討」
高見 静香（VBL非常勤研究員） 「超伝導小型集積化フィルタの開発」
藤山 淳（システム情報科学府電子デバイス工学専攻 修士２年） 「超電導転位並列導体の大型ソレノイドコイルへの適用性の検討」
行徳 賢一（システム情報科学府電気電子システム工学専攻 修士２年） 「積層したBi-2223テープ線材における交流損失の実験的評価」
林 敏広（システム情報科学府電気電子システム工学専攻 修士２年）
「CPP-GMR素子におけるスピン注入磁化反転の研究」
大石 秀俊（システム情報科学府電子デバイス工学専攻 修士１年）
■会員情報・企業紹介 １【九州半導体イノベーション協議会】九州経済局の藤井様より
協議会の会員企業様から、東京都小平市の㈲北村特許サーチ 様の企業ご紹介をさせていただきます。
㈲北村特許サーチ様は、特許に関する各種調査業務を行っておられます。
特許調査相談室も開設されておられ、ご相談にも応じられておられますので、ご活用いただければと存じます。
発信元
有限会社 北村特許サーチ
取締役社長 北村 芳治
我国および米国の国策としての特許重視戦略に同調される会員様へ
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○ 新製品、新技術の開発には、特許調査を！
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調査目的
○ 出願以前の段階で他企業等との権利侵害を回避する。
○ 技術開発計画作成に当たっては、その対象分野の特許調査を行い、特許性を予見し開発投資リスクを軽減する。
○ 新規異業種転換や拡張に際しても当該技術分野の特許調査を行い、異業種転換や拡張投資リスクを確認しておくことが肝要である。
○ 多額の資金を要する外国出願を希望する場合、該当国を含む世界的レベルの特許情報を可能な限り収集し経営世界戦略に支障（リスク）がないことを確認する。
○
開発された発明が高収益の目玉商品である場合、代替品または改良努力を払い、第三者参入を阻止すると共に同一用途分野の特許調査を継続して第三者による新規被侵害品の出現リスクの芽を早期に摘む。
○ 競合する他社の特許を潰すための無効資料調査をする。
サービス内容
○ 特許調査相談室を開設致しました。
下記のメールアドレスに相談内容を送信して頂ければお答えします。
（電話／ファックスでも可です。）
○ 下記の特許調査等を取り扱っています。
□ テーマ調査
□ 先行技術調査
□ 侵害調査
□ 外国特許調査（米国、欧州、アジア）
□ 意匠（デザイン）調査
□ 商標（サービスマーク）調査
有限会社北村特許サーチ
東京都小平市小川町2－1959－1ダルエルベイダ605号
担当 北村 芳治（調査歴 １５年）
E-mail: yo-ki@sc4.so-net.ne.jp
TEL/FAX (042)347-5947
■会員情報・企業紹介 ２【九州半導体イノベーション協議会】九州経済局の藤井様より
協議会会員企業「日本テクノ㈱」様のご紹介です。
日本テクノ㈱様は、中古半導体製造装置及び関連機器の仲介業務を行っておられます。
取り扱い製品につきましては、下記記載内容及び同社HPにて御確認いただければと思いますが、リストに掲載されていない物件でもお探ししますとのことでしたので、ご関心がおありになる方は同社木崎様までお問合せ下さい。
日本テクノ株式会社
サイクル事業部 木崎 学
◎低価格・短納期の中古半導体製造設備の有効活用をご検討される皆様方ヘ
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★工場の新規・増強計画、新技術の開発には中古設備を上手に活用して下さい。
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■■■■■◆中古半導体設備への期待◆■■■■■
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近年半導体製造設備の投資額が増大して来ており、設備予算の効率的な運用が
重要な課題となっております。
日本テクノでは、お客様のご希望の装置、ご予算に合った装置を、当社の国内・
海外のネットワークを通じて情報を提供していく事により、充実した設備、効率的
な予算運用のお手伝いをして行きたいと考えております。
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□中古半導体製造設備のメリット
・低価格
・短納期
・資源のリサイクル
・資金の回収
□取扱い設備
・材料工程（ラップ・ポリッシュ・スライサー・ワイヤーソー・他）
・前工程（ＣＶＤ・スパッタ・ステッパー・コーターデベロッパ・他）
・後工程（ダイサー・ボンダー・他）
・理化学機器（顕微鏡・恒温槽・各種分析装置）
・計測器（オシロスコープ・ネットワークアナライザー・他）
★お問合せ★
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設備の購入・売却をご希望の際は、弊社ホームページをご覧頂くか、下記アドレス
までご連絡下さい。
またリスト以外の設備も多数ありますので、ご希望の設備をご連絡下さい。
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日本テクノ株式会社
サイクル事業部 塩谷 浩司／木崎 学
TEL：03-3320-0150
FAX：03-3320-3788
E-mail：shioya@tekno.co.jp
E-mail：kizaki@tekno.co.jp
URL：http://www.tekno.co.jp/
以上
日本マイクロリス株式会社 九州営業所内
SOPT事務局 松石 洋一
Yoichi Matsuishi
Nihon Mykrolis K.K., formerly the Microelectronics Division of Nihon Millipore
Ltd.
Sumitomoseimei Hakataekihigashi Bldg.
13-9, Hakataekihigashi 1-chome Hakata-ku, Fukuoka, 812-0013 Japan
Phone : (81)92-471-8133 Fax :(81)92-471-8134
URL：http://www.mykrolis.com/nihon | 
