SOPT News -- 2004/4/20
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
ピューリフィケーション研究会が発足して今年で１０周年を迎えます。
そこで、ＳＯＰＴ専用のホームページを設立致しました。ＳＯＰＴに関する
新たな情報発信源となりますので、是非『お気に入り』に追加して下さい。
http://www.puriken.org
また、この１０年間ＳＯＰＴ委員長を務めて来られました渡辺先生も、今年度
で退官を迎えられることになり、浅野先生が新委員長として就任されることが
決まりました。詳しくは次回のＳＯＰＴニュースでご報告する予定です。
今後ともＳＯＰＴにご支援の程、宜しくお願い申し上げます。
◎ひとり言
先週、埼玉県草加市にあるエアシャワーのメーカーを見学した。
ＳＡＲＳ等の患者対応用のベッドを見させて頂いた。ベッドの周りは透明シー
トで囲われ、枕元にＨＥＰＡフィルターが付いていた。ベット側を陰圧にし、
ＨＥＰＡフィルターを通して排気するシステムだそうだ。こうすればお医者さん
や看護師さんにはウイルスや、ばい菌を浴びる可能性は減少する。なるほどね。
もう一つ、社長さんの好みで開発したリラックスルームを見せて頂いた。こち
らはＨＥＰＡ付きの四畳半ほどのスペースに机やテレビ・ステレオを配置し、
マッサージ付きのリクラインニングシートに身を任せて極楽気分。
こちらは陽圧。花粉症の方にはお勧め。でも、タバコは吸えないし、小生には
少々憂鬱。まじめに考えればいずれもミニエンのコンセプトになり、立派な
クリーン化技術の応用。前者は発塵防止の目的では流行の先端を行きます。
恐れ入りました。
本日のヘッドライン
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■ハイパーミニエンは次世代の装置のクリーン化に登場か？
■ＦＯＵＰの歴史と流れがよく分かるお話
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以下本文
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■ハイパーミニエンは次世代の装置のクリーン化に登場か？
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独立行政法人産業技術総合研究所＜産総研＞ 原史朗先生の発表資料より
本システムは、窒素雰囲気の密閉容器で試料洗浄・表面処理用のハイパーミニ
ファブ（グローブボックス）を中核として、超クリーンな金属堆積が可能な超高
真空仕様のe-beam型の蒸着装置、原子一つ一つを観察できる超高真空走査型トン
ネル顕微鏡(Scanning Tunneling Microscopy:STM)、その他汎用表面分析装置
(AES電子分光、X線光電子分光、低速電子線回折、直衝突低速イオン散乱分光)と
、空間的に離れたそれらの間の試料転送を行う超高真空仕様のステンレス製ミニ
搬送ボックスにより構成される。一部改良を施したSTM装置を除き、全て自前の
設計であり、ほとんどが手作りである。本ローカルシステム中で大気圧部分は
115literであり、 部屋全体をクリーン化した場合に較べ、1/2000程度の体積に
なっている。この115literの部分に真空を用いない理由の一つは、超高真空技術
を利用すると製造に非常にコストがかかることである。1気圧であれば、リークに
対して、大変ローコストな設計が可能である。肝心なことは、有害な不純物分子
・パーティクルは何かを判定し、それらを分圧比の観点から除去することである。
本システムは、局所クリーン化のトータルシステムとしてのモデルケースである
から、常圧の局所クリーン空間としての可能性を示すために、中核部分のみ敢え
てプラスチック素材のグローブボックスを用いて構成している。
以上、産総研の原史朗先生のホームページより転載しました。
詳しくは、 http://staff.aist.go.jp/shiro-hara/ をご覧下さい。
＊尚、原先生のクリーン化技術の講演資料（2004.．3）があります。
クリーン化の一般的なお話しと共に、役に立つデータが満載です。
ご希望の方はＳＯＰＴ事務局までお問い合わせ下さい。
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■ＦＯＵＰの歴史と流れがよく分かるお話
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信越ポリマー（株）の古川幹雄様がエアロゾル学会・空気清浄学会主催の研究会
で講演された資料の最新版を入手しました。（2004．2，3 ；於 東京）
内容はＦＯＵＰの話しを中心に豊富なデータを収録しており、ＦＯＵＰの歴史と
流れ、技術動向が分かり易く解説されています。
＊講演資料があります。ご希望の方はＳＯＰＴ事務局までお問い合わせ下さい。
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