SOPT news -- 2004/6/21 【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
前号でご案内した通り、浅野先生がＳＯＰＴ委員長として就任されましたが、
この度、渡辺前委員長がＳＯＰＴ顧問として就任されることが決まりました。
また、両先生のご紹介により、九州大学大学院の宮尾先生をＳＯＰＴ副委員長
としてお迎えすることが決まりました。
◆◆宮尾先生のご紹介とメッセージ◆◆
九州大学大学院システム情報科学研究院電子デバイス工学部門
教授、工学博士
専門は半導体工学。主な研究テーマは「Si系ヘテロ半導体の創出と新機能デバ
イス応用」。
この度、「ピューリフィケーション研究会」に参画させて頂く事になりました。
小生は大手電機メーカーに四半世紀勤め、最近、学の世界に転身致しました。
産と学の連携、応用技術と基礎研究の融合の重要性を骨身に浸みて知っている
つもりです。ピューリフィケーション研究会の皆様方と幾多の側面でフュージ
ョンを巻き起こして行きたく努力して参ります。九州・山口地区の製造現場の
方々のお役に多少は立て、そして小生自信の成長の糧になればと願っています。
＊詳細については、以下のＵＲＬをご覧下さい。
http://www.puriken.org/miyao.htm
◎ひとり言
とある全国版の専門新聞を読んでいたら驚いた。大分県の大手デバイスメー
カーの量産工場で４５ｎｍ以降のケミカル対策を検討中とのこと。インタビュ
ーを受けた方は昨年度のピュリ研Ｑ＆Ａの講師の某Ｓさん。
あの気さくな方が、こんな立派なご研究をなさっていたとは、もう一度驚いた。
ミニエン（FOUP）を入れたのでクリーン度をクラス１００００に落とすそうで
ある。これにも驚いた。昨年お会いしたときＳ社の実力者Ｈさんも含めて、ク
ラス１０００まで緩和できる見込みと話していたからだ。良く考えたら、ミニ
エン導入によりクラス１からクラス１００００に緩和したことになる。新聞に
よれば、このおかげでウェーハのエネルギー量が３０％削減できたとしている。
本当はこれに加えてクリーンルーム建設費が５０％削減できたはずなのに。
とにかく某Ｓさんは偉い！
秋のピュリ研シンポジウムでこの話を伺うことになっている。ご期待を！！
本日のヘッドライン
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
■３００ｍｍ，ミニエン化が進む
■超純水中の微量金属不純物除去
●九州大学からの情報
●九州半導体イノベーション協議会からの情報
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
以下本文
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
■３００ｍｍ，ミニエン化が進む（５／２６半導体産業新聞より）
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
同新聞では、３００ｍｍ対応でミニエン（ミニエンバイロメント；局所清浄化）
が主流となり、ミニエン以外のボールルームはクラス１０００−１００００に緩
和でき施工コストは半減できるとの記事を紹介した。これにより、従来のクリー
ンルーム施工業者の危機感をあおり、ケミカル汚染モニターや微粒子可視化装置
などクリーンルーム本体以外の革新的新技術に特化する動きを見せているという。
また今後は、中国の国内法改正も相まって新工場設置の舞台は大陸市場へ移ると
している。また、東芝大分工場の最新ケミカル汚染対策やＦＯＵＰ・ロードポー
トメーカ−各社の動きを掲載している。大変興味深い記事となっている。
＊記事詳細はＳＯＰＴ事務局までお問い合わせ下さい。
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
■超純水中の微量金属不純物除去
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
日本マイクロリスは、超純水中から微量金属不純物を除去する「プロテゴ」金属
イオン除去フィルターを製造・販売しています。「プロテゴ」は、イオン交換膜
と実績の高い粒子除去膜を組み合わせることにより、イオン、コロイド粒子、微
粒子など様々な形態の不純物を一つのユニットで除去します。コンパクトな形状
にし、洗浄装置のユースポイントでもご使用できます。
「プロテゴ」は連続グラフト重合法により作成されたイオン交換膜を使用してお
り、従来のイオン交換樹脂方式に比べ高流量条件下でも高効率の金属除去を可能
にしました。グラフト重合法は膜基材（ポリエチレンの直鎖上）に直接化学結合
で強酸性陽イオン交換基を導入する技術で、化学的に安定なイオン交換基等の官
能基を、多孔膜基材のような表面積の高い多孔質にも均一、かつ高容量でイオン
交換基を導入することを可能にしました。これによりイオン交換膜のイオン交換
速度を最大限に高めることが可能となり、比較的小型のユニットで高流量の液の
処理を可能にしました。
既にウェーハメーカー、デバイスメーカーで採用されており、実プロセスでの評
価データも報告されています。
>>以上、日本マイクロリスからの投稿記事です。
＊本記事の全文を掲載したテクニカルレポートがあります。
ご希望の方はＳＯＰＴ事務局までお問い合わせ下さい。
ＳＯＰＴでは、ＳＯＰＴ会員様からの情報提供をお待ちしております。
詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せ下さい。
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
●九州大学からの情報
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
『第７回アジア太平洋プラズマ科学技術会議』の開催について
日程：平成１６年６月２９日（火）―７月２日（金）
場所：福岡国際会議場（福岡市）
主催：日本学術振興会、九州大学
詳細： http://apcpst.aees.kyushu-u.ac.jp/
＊ＳＯＰＴ顧問の渡辺先生が"Executive Vice-Chairperson"です。
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
●九州半導体イノベーション協議会からの情報
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
『次世代半導体材料プロセス国際ワークショップ』の開催について
日程：平成１６年７月３日（土）
場所：長崎大学（長崎市）
主催：長崎大学
共催：日本学術振興会、九州半導体イノベーション協議会、他
詳細： http://www.si-cluster.jp/newinfo_description.php?no=51
『平成１６年度第一回製造装置研究会』の開催について
日程：平成１６年７月５日（月）１３：００−１７：００
場所：八重洲博多ビル（福岡市博多区博多駅東2-18-30）
主催：九州半導体イノベーション協議会
詳細：主催団体まで直接お問合せ下さい。
＊ＳＯＰＴ委員長の浅野先生がディスカッション・リーダです。
このメールは、ＳＯＰＴ会員とその紹介者の皆様に配信しております。
今後の配信停止・宛先の変更は、お手数ですがメールアドレスをご明記の上、
このメールにご返信お願い致します。
ＳＯＰＴでは、ＳＯＰＴ会員様からの情報提供をお待ちしております。
詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せ下さい。
*****************************************************
ＳＯＰＴ事務局
越智（オチ）／古川（フルカワ）
福岡市博多区博多駅東1-13-9 住友生命博多駅東ビル
日本マイクロリス（株）福岡営業所内
Phone.092-471-8133/Fax.092-471-8134
mailto:SOPT@mykrolis.com
URL: http://www.puriken.org
*****************************************************
"Society of Purification Technology" since 1994 | 
