SOPT news -- 2004/7/28 【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
半導体産業新聞の６月３０日号にＳＯＰＴの紹介記事が掲載されました。
内容としてはＳＯＰＴが１０周年を迎えてホームページを開設したこと、また
ＳＯＰＴの活動概要です。
更なる発展を目指して努力して参りますので、今後ともご支援の程、宜しく
お願い申し上げます。
ヘッドライン
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■超純水用０．０３μｍインラインレーザーパーティクルモニター
●技術情報協会からの情報 −− 『クリーンルームセミナー』
＊＊ＳＯＰＴ副委員長の園田先生も講演されます＊＊
●九州半導体イノベーション協議会からの情報
−− 「ＦＰＤ大型ガラス基板搬送技術」セミナー
＊＊ＳＯＰＴ委員長の浅野先生がディスカッション・リーダです＊＊
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以下本文
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■超純水用０．０３μｍインラインレーザーパーティクルモニター
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ニッタ株式会社では、米国ＰＭＳ社製レーザーパーティクルカウンターを主とし
たコンタミネーションモニタリングシステムの販売・サービスを行っています。
ＰＭＳ社はレーザーパーティクルカウンターのパイオニアとして１９７２年に設
立以来、メインパーツとなるレーザー、レンズ、ミラー、受光素子などの光学パ
ーツの多くを自社開発・製造し、常に世界をリードする製品を提供し続けてまい
りました。
この度、超純水中のインライン粒子計測を０．０３μｍの最小粒径感度で実現す
るパーティクルモニター「ＵｌｔｒａＤＩ３０」をそのラインアップに加えまし
た。昨今の微粒子制御技術の目覚しい進歩により、半導体製造プロセスで使用さ
れる超純水中の微粒子数は極めて低濃度であり、リーズナブルな時間内に、統計
的に信頼性のある（例えば２０個）粒子カウントを得ることが大変困難になって
います。従って、超純水用レーザーパーティクルカウンターには粒径感度の向上
と共に大流量（実測流量）、低偽計数レートであることが求められています。
PMS社のUltraDIシリーズは、粒径感度0.03μｍ、実測流量1.25mL/min（試料流量
：200mL/min)のモデル：「ＵｌｔｒａＤＩ３０」、及び粒径感度0.05μｍ、実測
流量3.75mL/min（試料流量：1000mL/min)のモデル：「ＵｌｔｒａＤＩ５０」の
２タイプがあり、共に偽計数レートは0.05個以下/mLで、高粒径感度、大流量、低
偽計数レートを他に類を見ない高いレベルで達成しています。UltraDIシリーズは
通信インターフェースにEthernetを備え、工場や構内LANインフラを利用した多点
モニタリングシステムの構築が可能です。UltraDIシリーズは、超純水供給ライン
やユースポイントでのインライン・リアルタイム微粒子モニタリング、フィルター
の効率測定など既に多くのデバイスメーカー、純水プラントメーカー、フィルター
メーカーなどで採用されています。
>>以上、ニッタ株式会社様からの投稿記事です。
＊本記事に関するお問合せはＳＯＰＴ事務局までご連絡下さい。
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●技術情報協会からの情報
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『クリーンルームセミナー』の開催について
タイトル：クリーンルームの設計および清浄環境の評価・維持・管理と半導体・
液晶製造プロセスにおけるクリーン化・静電気対策技術
日程： ２００４年９月２１、２２日（予定）
場所： 東京都内
主催： 技術情報協会
聴講料：６５，１００円（消費税・資料代・昼食代を含む）
講演予定：
「クリーンルームの計画と設計」 三機工業（株） 長谷川 勉 氏
「クリーンルームにおける清浄環境の維持・管理」
日本環境管理学会 前川 甲陽 氏
「クリーンルームにおける化学汚染の評価方法」
（株）住化分析センター 飯川 玲子 氏
「液晶プロセスにおけるクリーン化および静電気対策技術」
日本ＩＢＭ（株） 北原 洋明 氏
「半導体製造プロセスにおけるクリーン化および静電気対策技術」
三菱電機（株） 園田 信夫 氏
>>以上、株式会社技術情報協会からの情報です。
＊詳細については改めてご案内する予定です。
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●九州半導体イノベーション協議会からの情報
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『製造装置研究会』の開催について
テーマ：「ＦＰＤ大型ガラス基板搬送技術」
講師： (株)イーキャッツ 林社長
日時： 平成１６年８月５日（木）１３：００〜１７：００
場所： 博多都ホテル（福岡市博多区博多駅東２−１−１(博多駅筑紫口正面））
主催： 九州半導体イノベーション協議会
参加費：２０００円(交流会参加は別途３０００円)
定員： ５０名
申込締切：７月２９日(木)
申込先と詳細： http://www.si-cluster.jp/content03/cont03_03.php
を参照して下さい。
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詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せ下さい。
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