SOPT news -- 2004/12/21
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
今年はＳＯＰＴ発足１０周年ということもあり、多くのニュースがありました。
浅野先生の委員長就任、宮尾先生の委員就任、ホームページの開設、１０周年記
念シンポジウム等。 ＳＯＰＴニュースも新体制でリニューアルをしましたが、
皆様、如何でしたでしょうか。
今後ともＳＯＰＴへの格別なるご支援の程、宜しくお願い申し上げます。
◎ちょっと一言
師走も半ば過ぎたけど、まだ寒さを感じない。
過日のセミコンジャパンに顔を出した。例年通りの盛況だが、愛煙家にとっては
喫煙場所が出入口の外となり、屋外喫煙となった。なんでこんな目にあってタバ
コ吸わないといけないのかブツブツ言った。
クリーンルームでもタバコの粒子汚染が騒がれたこともあった。タバコの影響は
喫煙後１５分は間違いなく出る。実験では、ニコチン１０ｍｇと２ｍｇ（銘柄は
秘密）、立て続けに２本吸った場合など日常に合わせて（？）行なった。タバコ
吸っちゃ、着替えてクリーンルームに出入りしてデーター取るなんて、繰り返し
てやったら頭がボッーとなります。で、結論、喫煙休憩後は速やかにクリーンル
ームに入っても、ウェーハに向けて息をかけなければお咎めなし。すごく分かり
易い結論でした。参考までに大概のマスクは効果なし。
ヘッドライン
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■導電性容器に新材料
■化合物半導体製造プロセスにおけるアンモニアガス精製効果
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以下本文
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■導電性容器に新材料
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ウェーハ搬送ボックスの材料にPP（ポリプロピレン）アロイ，PEEK（ポリエーテ
ルエーテルケトン）の代替材料候補が第８回ＳＯＰＴシンポジウム（11月2日、
坂本貴樹氏、於福岡）で発表された。
この材料はPPアロイの代替に特殊ブレンドしたABS、PEEKではCOC（シクロオレフ
ィン系）の二つである。特に、耐ケミカル汚染、耐発塵・耐摩耗性に加え、安定
した成形条件により寸法が安定しており、低価格であることから注目を集めてい
る。開発品の表面抵抗は導電性ABSで1X10E10、COCで1X10E5オーダー。ABSはPPア
ロイよりも一桁以上低く、静電気対策の有力候補に。COCはPEEKの約半分の価格。
>>以上、坂本貴樹氏のシンポジウム講演予稿より抜粋しました。
＊資料請求は、ＳＯＰＴ事務局までお問い合わせ下さい。
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■化合物半導体製造プロセスにおけるアンモニアガス精製効果
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化合物半導体技術は発光素子、半導体レーザ、マイクロ波半導体や高速デジタル
IC等、非常に幅広い製品に採用されている。化合物半導体製造プロセスでは有機
金属化合物、水素、窒素、アンモニア、アルシン、モノシラン、塩化水素等、各
種プロセスガスが使用されているが、これらのプロセスガス中に含まれる水分、
酸素等の不純物は酸素原子が膜中に取り込まれる要因となり、フォトルミネッセ
ンス、キャリア移動度、キャリア密度等の光学及び電気特性に悪影響を与える。
マイクロリスでは半導体プロセスガス用精製機器を各種取り扱っており、ここで
は、アンモニアガスの精製技術とその効果について、GaNデバイスにおける評価
結果を含め、幾つかの評価事例を報告する。
>>以上、日本マイクロリス株式会社の製品レポートより抜粋しました。
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