SOPT news -- 2005/01/25
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
◎ちょっと一言
神戸のシーズシーさんのメルマガの挨拶文です。
『そろそろスギ花粉が話題になる季節がやってきました。今年は過去最大クラス
の花粉が飛ぶそうで、花粉症の方にはつらい春になりそうです。
ところで、あるエアシャワーメーカーの方から聞いたのですが、パチンコ店のオ
ーナーからエアシャワーの引き合いがあったそうです。目的は、ホールへの花粉
の持ち込み軽減。衣服や持ち物についた花粉をエアシャワーで落とすんですね。
このオーナーももちろん、花粉症だったそうです。』
よく読めば、面白いのですがただ事では．．．クリーン化も総合デパートの時代
です。
ヘッドライン
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■各種クリーンルーム関係のガイドブックの紹介（日本エアーテック版）
■半導体洗浄の最新動向 −UCPSS2004報告−
●最近のクリーン化技術の動向と問題とその対策（一水会定例セミナー開催）
●九州半導体イノベーション協議会より −− 『第５回製造装置研究会』
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以下本文
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■各種クリーンルーム関係のガイドブックの紹介（日本エアーテック版）
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日本エアーテック（本社：東京都台東区）では、分かり易いクリーンルームの解
説版（２００３年度版）を、お客様へのサービスとして提供している。
内容は、基礎から応用まで幅広いが、最近話題のＦＯＵＰまで収録されており、
結構、教育資料としては有効である。このシリーズは分冊となっており、工業用
の他、バイオハザード、生物学用キャビネット、バイオロジカルクリーンルーム
、食品関係とクリーンルームが応用されているほぼ全分野についての貴重な入門
書となっている。工業用クリーンルーム（ICR）では、一般の解説の他、メンテ
ナンス清掃方法、安全管理など、親切な内容である。
＊お問い合わせは、川又取締役営業本部長までご自由にご連絡下さい。
日本エアーテック株式会社
Phone.(03)-3872-6615／URL: http://www.airtech.co.jp
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■半導体洗浄の最新動向 −UCPSS2004報告−
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服部毅様、「クリーンテクノロジー」Vol.15, No.1, pp.50-52 (2005年1月)より
ソニーの服部毅氏はUCPSS(Si表面の超清浄プロセスに関する国際シンポジウム)
の報告記事として、High-kゲート絶縁膜のエッチングやCu/Low-kの汚染除去など
の話題に加えて、キャリア移動度が高いGe基板に関する発表が登場とした紹介し
ている。中でも、IBMの招待講演ではGeやGaAsにHfO2やAl2O3などのHigh-K材をゲ
ート絶縁膜に用いたMOS構造をいかに形成するかの基本的な説明から、前処理洗
浄技術が重要であると述べている。次回からはこれらの動向を踏まえ。この会を
Si表面からセミコンダクター表面に変更するとのこと。その他、超臨界流体洗浄
に焦点が集まったと結んだ。
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●最近のクリーン化技術の動向と問題とその対策（一水会定例セミナー開催）
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ＪＡＣＡ（日本空気清浄協会）の研究会（一水会）で、ＳＯＰＴ副委員長の園田
氏（三菱電機）が２月３日、東京・本郷の学士会館で講演を行なう。特に、話題
のＦＯＵＰの他、組立工程のミニエンについての全体と、静電気対策の考え方に
ついて述べる。
JACA http://wwwsoc.nii.ac.jp/jaca/
＊講演資料の抜粋版をご希望の方は、SOPT事務局までお問い合わせ下さい。
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●九州半導体イノベーション協議会より −− 『第５回製造装置研究会』
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「HALCAのコンセプトとプロジェクトの成果、ミニファブの今後の課題について」
講師： (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター
企画担当グループ長 見方 裕一 氏
日時： 平成１７年２月４日（金）１３：００〜１９：００
場所： 熊本テルサ（熊本県熊本市水前寺公園２８−５１）
主催： 九州半導体イノベーション協議会
参加費：２０００円(交流会参加は別途３０００円)
申込締切：平成１７年１月３１日（月）
問合先： http://www.si-cluster.jp
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