SOPT news -- 2005/2/22
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
◎ちょっと一言
昨年末のセミコンジャパンを覗いた。クリーン化技術の動向を興味深く見させて
貰った。
まず、３００ｍｍファブの本数は、２００１年の１０本が２００４年に３０本、
２００５年には４１本となり、全てがFOUPとなる見込である。中国では８インチ
ファブが主流であるが、３００ｍｍファブの計画がボチボチ進んでいる。中国の
ウェーハファブは上海が６０％でダントツで、これに蘇州・無錫・寧波・北京が
続くが、これからも上海周辺地域に８０％以上が集約されている。
技術的には光触媒方式がいよいよ出番となった。特に、ストッカー・FOUP・FFU
(Fan Filter Unit)や無塵服まで幅広いデビューとなる見込み。光遮断型のボッ
クス保管によるSiの自然酸化膜成長抑制が大変興味ある内容である。
このようにクリーン化技術もFOUPの先が見えてきたような気がする。大いに期待
できる内容である気がしてきた。２００５年の話題をさらいそうであることは素
直に嬉しいことであると、帰りの飛行機の中でひとりつぶやいた。（王 藩鎮）
ヘッドライン
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■低温排熱利用気化式加湿型空調機「エコウェット」
■シリコンウェーハの保管・搬送中における分子状汚染物質のガスパージ除去
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以下本文
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■低温排熱利用気化式加湿型空調機「エコウェット」
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「エコウェット」は、低温排熱を利用できる気化式加湿器を組み込んだ空調機で
あり、従来不可能とされていた気化式加湿による加湿量比例制御と、より低温（
例えば30℃）の排熱利用が可能である。例として長野県における室内温湿度24℃
、50％のFPD工場の場合、従来の蒸気式加湿型空調機に対して、消費エネルギー
57％、二酸化炭素排出量53％、ランニングコスト53％の削減となり、導入費用に
対しても0.73年で償却可能である。
詳細：
http://www.techno-ryowa.co.jp/01gijyutu/gid005/gid005.htm
問合先：株式会社テクノ菱和
http://www.techno-ryowa.co.jp
田村(mailto:tamura@techno-ryowa.co.jp)
海老根(mailto:ebine@techno-ryowa.co.jp)
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■シリコンウェーハの保管・搬送中における分子状汚染物質のガスパージ除去
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分子状汚染物質(AMCs:Airborne Molecular Contaminants)は、ウェーハ製造工程
において、多くの問題を引き起こす。そこで各メーカーは、SMIF(Standard Mech
anical Interface)あるいは、FOUP(Front Opening Universal Pod)を使用し、保
管中および搬送中のAMCによる汚染から、ウェーハを保護している。ここでは、
これらのパージガスを精製することにより、ハイドロカーボン汚染をppbレベル
からpptレベルまで低減した評価事例を紹介する。
詳細： http://www.puriken.org/news0502_Mykrolis.htm
問合先：日本マイクロリス株式会社
http://www.mykrolis.com/nihon
プロモーション担当(mailto:Info@mykrolis.com)
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