SOPT news -- 2005/3/23
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
今月から新たに連載企画を開始いたします。
その第一段として「クリーン化技術」をテーマとして掲げ、（株）テクノ菱和の
田村様に、基礎的な内容から最新の技術動向に至るまで、１０回に渡って分かり
易く解説していただく予定です。是非ご期待下さい。
◎ちょっと一言
3月20日午前10時43分のことである。いきなり地響きとともに家がぐらぐら揺
れ始めた。外に飛び出し大きく揺れる家を見てたらぞーっとした。震源地は福岡
市内の玄海島の北の海底。震度５は本当に怖かった。
以前、とあるデバイスメーカーも地震の被害を受けた。空調が停止するとクリ
ーン度が維持できずにゴミが漂い始めて汚染が始まる。また、建屋にヒビが入る
と室圧が維持できず隙間からピューピューと汚れた空気が入ってくる。はしごで
天井の隙間の有無をチェックするのは地震と同じくらい怖い作業である。さらに
、シリコーンシーラントで目止めするとケミカル汚染の心配がある。また、生産
が止まる。復旧に時間がかかる。
この原稿書いてる今、震度４クラスの余震があった。やはり怖い。地震は半導体
の生産までも壊す気がする。（藩鎮）
ヘッドライン
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■ちょっと面白い半導体：βFeSi2
■クリーン化技術入門 その1「クリーンルームとは」
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以下本文
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■ちょっと面白い半導体：βFeSi2
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半導体と言えば、Si或いはGaAsを思い起こされる事と存じます。最近ちょっと
変わった材料としてシリサイド半導体であるβFeSi2が学会を賑わせています。
元来は熱電半導体として研究開発が行われていた材料ですが、Si基板上で結晶成
長を行うと歪みが導入され、直接遷移型のバンド構造（バンドギャップ：0.8eV
付近）となる事が判ってきました。従って1.5ミクロン帯光通信用発受光デバイ
ス材料として期待が高まっています。Feの比率を増し、Fe3Siとなれば強磁性相
となります。電子・熱・光・磁気機能の融合が将来的には可能になるかも知れま
せん。興味のある方々は下記ＨＰを覗いて見て下さい。（宮尾）
http://annex.jsap.or.jp/silicides/
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■クリーン化技術入門 その1「クリーンルームとは」
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(株)テクノ菱和 田村 一
1.クリーンルームとは
クリーンルームは日本工業規格JIS Z 8122-2000「コンタミネーションコントロ
ール用語」で以下のように定義されている。
「コンタミネーションが行われている限られた空間であって、空気中における浮
遊微粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、その空
間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、必
要に応じて温度,湿度,圧力などの環境条件についても管理が行われている空間」
2.クリーンルームの種類
クリーンルームを使用目的に応じて分類すると、主に微粒子を制御対象とする
インダストリアルクリーンルームと生物微粒子を制御対象とするバイオロジカル
クリーンルームに分類される。その他には気流形式による分類があり、「非一方
向流方式」「一方向流方式」「混合方式」の3つに大別される。方式の選定は、
要求清浄度・運転管理・設備費などの検討が必要であり、前述した3つの方式を
適時組み合わせて用いる場合が多い。
3.クリーンルームの基本原則
クリーンルームがその品質を維持するには、クリーンルームを適性に管理して
いく必要がある。具体的には「持ち込まない(リークがない)」「排除する(換気
回数を多くする)」「堆積させない(基準に沿った清掃)」「発生させない(発塵材
料は使用しない)」といった4つに行為に分類され、クリーンルームの4原則とい
われている。
参考：クリーンルームの歴史
当初インダストリアルクリーンルームは、戦争とともに発展してきたといって
も過言ではない。戦闘機の航行用計器をはじめ、爆撃照準器やレーダ等の計器は
精密かつ微小な部品で構成されており、これらを埃の多い環境で加工・組立てす
ると、耐久性や信頼性を確保するための大きな障害になることが、第二次世界大
戦を前後して認識されるようになっていった。そして第二次世界大戦中、クリー
ンルームにおいて最も重要な構成要素である超高性能フィルタ(HEPAフィルタ)が
原子爆弾の製造に伴って発生する放射性微粒子を除去するために開発され、クリ
ーン化技術は大きく進展した。1950年の朝鮮戦争において、アメリカは16万個の
電子装置を使用したが、それらを構成する部品を100万個以上も交換しなくては
ならず、特にレーダなどは70％以上も故障したとされる。そして、微粒子を管理
した清浄な部屋でこれら装置の組立を行うようにすると、故障率は5〜8％に激減
したと伝えられている。更に宇宙開発の始まりとともに、高度の信頼性と耐久性
を保証するために、汚染物質を徹底的に除去する必要に迫られ、コンタミネーシ
ョンコントロールの技術が確立されていった。
◎詳細はこちらをご覧下さい： http://www.puriken.org/cleanroom-01.htm
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