SOPT news -- 2005/4/26
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
ＳＯＰＴ運営委員会では、２００５年度「第８回ＳＯＰＴ Ｑ＆Ａセミナー」の
開催に向けて、その準備を進めています。今号はその一部をご紹介します。
◎ちょっと一言
静電気対策が見直されている。基本的にESD(静電気放電による破壊；Electrost-
atic discharge)とESA(静電気によるパーティクル吸着；Electrostatic attrac-
tion)が重要であるが、昨今は、ESDS(静電気に敏感なデバイス；Electrostatic
sensitive devices)が注目されている。
ESDSは適用範囲が広い。静電気の影響を受けるデバイスの全部にまたがるとなる
とウェーハから組立てまでと考えがちだが、実際にはそれを搭載した電子部品は
全てが対象であるため、実装後も出荷後もお客様が使用している間も基本的につ
きまとう。また、静電気対策の回路設計までも対象となる。
今までは、ドアのノブを触った瞬間でバチッと来るのが静電気だとイメージがあ
った。そう言えば雷は何故発生するのかと聞かれたことがある。即座に静電気だ
よと聞いても“ぼーっと”そうか？と言われた。ラジオだって“ジジジー”とノ
イズが入る。電磁波が出ているんだよと教えてあげても“あそっ”の一言。ESD
放電時の電磁波が装置のプログラムを狂わせるなんて言ってもこの人間には理解
できそうもない。一言が二言になってしまった。陳謝！（藩鎮）
ヘッドライン
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■新世代防塵素材､GK330Gの特徴と性能
■クリーン化技術入門 その２「清浄度とクラス」
■韓国のパッケージング技術動向 －ICEP2005報告－
●『第８回Ｑ＆Ａセミナー』のご案内
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■新世代防塵素材生地､GK330Gの特徴と性能
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半導体工業分野や各種の電子産業分野においてはクリーン清浄度が、大きく分
けて[前工程]・[後工程]・[アセンブリ･検査工程]の適用素材物性レベルが明確
になりつつある。
素材の性能としては 主に基準粒径対応、発塵性能、塵捕集率、制電性能等があ
り、その中でも作業時の着易さを重視しながら発塵性能・塵捕集率の基準を満足
させ、しかも静電気対策として常時100V以下に帯電を抑制可能な素材の開発が強
く望まれていた。
今回、生地メーカーが開発したハイレベル新導電糸の採用と、原糸・織（入口）
から加工工程（出口）を詳細検討の結果、超制電素材GK330Gの開発を実現した。
【GK330G素材性能】
・摩擦耐電圧(V)は初期20Vの性能であり洗濯100回後でも60Vレベルを維持
・表面抵抗値は経･緯の繊維共106Ω/sqを維持
・発塵性能は0.3μ以上100以下
・塵捕集率は 0.3μ：50%、5.0μ：100%を維持
【素材特徴】
GK330G使用の導電糸は従来の導電糸(22T/6－B31)から新開発の逆芯鞘導電糸(33T
/6－BR1Z)を使用して要るため、導電部表面積で30数倍以上の導電部面積を有し
、制電効率大である、またその導電性能を損なわない加工法開発もおこなった。
素材は織設計段階から耐久性能を視野に入れた設計思想を取り入れたため、目付
124g/㎡の綾織であり防皺性能や風合いに優れ、耐洗濯時の発生が懸念されるス
ナッグ＆ピリング性能維持する。
◎詳細はこちらをご覧下さい： http://www.puriken.org/guardner-01.htm
◎問合先：株式会社ガードナー
http://www.guardner.co.jp/
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■クリーン化技術入門 その２「清浄度とクラス」
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(株)テクノ菱和 田村 一
1.清浄度の定義
JIS Z 8122(コンタミネーションコントロール用語)によると、清浄度とは「対
象物の清浄状態を示す量」と定義されている。具体的には、一定の面積あるいは
体積に含まれている制御対象物質(汚染物質)の大きさ、個数、質量で表される。
特定のある場所または容積中に存在する汚染物質の量、もしくは粒子の大きさ別
の数によって格付けられた清浄度の程度を清浄度レベル、清浄度レベルを等級分
けしたものを清浄度クラスという。
2.清浄度クラス1とは
半導体製造等のインダストリアルクリーンルームでは、清浄度は浮遊微粒子に
関する空気の清浄度を指すのが一般的であり、そのレベルは空気1立方メートル
中にどれくらいの大きさの粒子が何個あるかによって決まる。クリーンルームの
清浄度を定める規格ISO14644-1で表記されている清浄度クラスを例に取ると、IS
Oクラス1という清浄度において、空気1立方メートル中に許容されるゴミの大き
さと個数は、大きさ0.1μmの粒子で10個以下である。これを太平洋中に存在する
魚の数で表現すると、「アジ」が10匹泳いでいるかいないかという程度である。
3.清浄度の規格
クリーンルームの清浄度に関わる規格は、米国連邦規格(Fed. Std. 209)、米国
航空宇宙局規格(NBH 5340 2)、英国規格協会規格(BS 5295-1)、ドイツ規格(VDI
2083)、日本工業規格(JIS B 9920)などがある。このなかで、米国連邦規格Fed.
Std. 209Dで規定されていた清浄度クラス表記(1ft3中に存在する粒子の最大許容
粒子で表現)は直感的で分かりやすく、日本においても長らく使用されてきた。
一方、様々な基準が国際統一化へと進むなか、クリーンルーム関連の規格もISO(
International Standard Organization)のTC(Technical Committee)209にて審議
され、清浄度に関する規格ISO14644-1が1999年に成立した。これに伴い米国連邦
規格が2001年に廃止されたほか、日本工業規格も2002年に改訂された。ただし現
場レベルでは、米国連邦規格Fed. Std. 209Dによる「クラス1000」という表現や
それを準用する形で、「0.1μmクラス100」という通称が用いられることが多く、
ISO規格との併用がしばらく続くものと思われる。なお、Fed. Std. 209Dによる
「クラス1000」はISOクラス6相当、通称「0.1μmクラス100」はISOクラス3.5相
当となる。
◎詳細はこちらをご覧下さい：
http://www.puriken.org/cleanroom-02.htm
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■韓国のパッケージング技術動向 －ICEP2005報告－
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Amkor社のJin Yuらはパッケージング技術の将来的な展望について述べた。
韓国でのパッケージングのコア技術は、世界的なシェアを持つメモリーや携帯用
デバイスに牽引されて発展しており、Samsung、LG、Hynix、Amkorがリードして
いる。また、電子・機械・化学・材料など異分野の大学や研究開発機関がコラボ
レーションとして標準化と新たなパッケージ材料,プロセス,デザインなどに取り
組んでおり、KAISTに在るCEPM(Center for Electronic Packaging Material)
を代表例として紹介した。
一方、SiP(System in Package)の将来性についても触れ、SiPはシステム設計の
容易さと、Si、GaAs、SiGe、MEMSなど様々なデバイスを1モジュール化出来るな
どの利点から、SoCを凌駕するまでに進化したとしている。
携帯向けSiPの07年の生産量は03年の1.6倍にあたる28億unitsに達すると予測し
ており、デジタル機器、Bluetothなどの無線機器向けSiPも各々03年の4倍にあた
る10億unitsに達すると予測している。
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●『第８回Ｑ＆Ａセミナー』のご案内
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本セミナーは、ピューリフィケーションに係わる専門分野の基礎から応用に至る
まで、各分野のスペシャリストにわかり易く解説していただくとともに、様々な
観点からの質問にお答えができる時間を充分に設けました。
開催日時：平成１７年６月１０日(金)、９：５０－１７：００（9:30開場）
開催場所：福岡朝日ビル(博多駅博多口より徒歩約1分)
参加費： ５，０００円(テキスト、昼食代、消費税を含む)
定員： ３０名
講演内容(敬称略)：
「ULSIプロセス技術入門」
九州工業大学マイクロ化総合技術センター 浅野種正
「クリーン化の基礎と最新技術」
(株)テクノ菱和 技術開発研究所 田村 一
「薬液用フィルタの基礎と最新技術」
日本マイクロリス(株)応用技術開発部 甘利陸浩
◎詳しくは５月１１日予定のＳＯＰＴニュースでご案内致します。乞うご期待！
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