SOPT news -- 2005/6/28
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
『第８回ＳＯＰＴ Ｑ＆Ａセミナー』は、多くの皆様にご参加を頂き誠に有難う
御座いました。この場をお借りして、重ねて御礼申し上げます。また、セミナー
中は煩雑に紛れ、ご対応に何かと至らぬ点がございました事を深くお詫び申し上
げます。今後ともSOPTへの格別なるご支援の程、宜しくお願い申し上げます。
◎ちょっと一言
ウェーハ上の異物がパターン欠陥になることはみんな知ってる。先端ではデザイ
ンルールの半分の大きさの異物が管理対象。管理すべき異物サイズは十数年前か
ら酸化膜の1/10，1/5，1/3と小さくなってきた。いつのまにかパターンサイズの
1/2になってきた。でも根拠はと聞かれると誰もキチンと答えられない。そうか
も知れない。もう一度実験して確認したいとトライはしているが．．．
ところがある人が面白いことを言っていた。小さな異物は問題にしたがるけど大
きな問題はどうするのだと。思わず答えた、“大きな異物はちゃんと落ちるから
付着しないと”。妙に感心されて困った。（真理の追究者）
ヘッドライン
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■導電性ポリマーを応用した制電文具
■クリーン化技術入門 その４「クリーンルームの性能評価(1)」
●九州半導体イノベーション協議会より －－ 『第１回製造装置研究会』
＊＊ＳＯＰＴ委員長の浅野先生がディスカッション・リーダーです＊＊
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以下本文
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■導電性ポリマーを応用した制電文具
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昨今の製造現場に於ける静電気に対する要求は厳しくなり、通常の使用文具類
にも種々の要求がなされています。今回紹介する導電性の文具類は、従来のカー
ボン練りこみでも帯電防止剤使用でもない、新しい技術で開発された導電技術加
工の製品です。抵抗値としては1x10E3～1x10E8Ωが可能です。
この導電性ポリマー「ポリピロール」を様々な材質、形状の機材の表面に薄膜で
均一に被覆、複合導電性を保持します。防塵服を着用した人々が、ST処理を施し
たファイルから書類を取り出してもクリーンルームの中では静電気による被害は
発生しない、当たり前のように仕事が出来れば生産性も上がるというわけです。
【特徴】
・超薄膜、透明性、導電化
・ブリード、脱落の無いクリーンで安定した導電性能
・幅広い材質、形状に適応
・低アウトガス、低イオンコンタミネーション、シリコンフリーなど
・ラミネート、印刷、粘着加工等、様々な後加工に対応
【応用商品】
・ＡＳヒートシールフイルム（パウチフイルム）
・ＡＳポリファイル
・ＳＴバインダー
・ＩＣテープ
・ＳＴクリップボード
・プロテクトフイルム
・その他真空成型品
◎詳細はこちらをご覧下さい： http://www.puriken.org/guardner-03.htm
◎問合先：株式会社ガードナー
http://www.guardner.co.jp/
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■クリーン化技術入門 その４「クリーンルームの性能評価(1)」
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(株)テクノ菱和 田村 一
1.微粒子の測定方法
クリーンルームにおいて、最も重要な管理項目である「清浄度」を評価するうえ
で、微粒子の測定は欠かせない試験項目であり、通常は光散乱式自動粒子計数器
（いわゆるパーティクルカウンタ）が用いられている。
2.パーティクルカウンタによる測定時の留意点
パーティクルカウンタによる測定では、粒径区分ごとに単位体積あたりの粒子個
数が表示されるが、もともと目に見えない微粒子が対象であることや容易に数値
が表示されることもあり、不慣れな使用者にとって測定値は常に真値であると思
いがちである。しかし、校正の不備や不適切な取扱などが起因となり、場合によ
っては必ずしも真値を得ているとは限らない点に使用者は留意する必要がある。
3.パーティクルカウンタで得られる測定値と誤差要因
パーティクルカウンタは標準粒子としてポリスチレンラテックス（PSL）を使用
して校正しているため、球形以外の形状（例えば繊維）であっても表示される粒
径は球形のPSL粒子等価径となる。例えば未知粒子（非球形）を測定してある出
力値が得られたとき、その出力値が粒径0.3μmのPSL粒子に相当したとすると、
実際は0.5μmの粒径があったとしても表示は0.3μmとなる。これは、粒子の屈折
率や形状に起因している。
パーティクルカウンタの誤差要因は、①「測定原理的に避け得ない誤差原因」②
「装置由来」③「使用者の取扱由来」に大別される。項目②の「装置由来」は、
パーティクルカウンタの基本性能に関わる問題であるが、偽計数や計数効率につ
いてはJIS B 9921で規定されており、メーカー側もそれに準拠した製品をリリー
スしていることから、使用者にとっては実用上意識しなくてよい項目と思われる
。ただし、使用者にとって正常な値を示しているかどうかの判断はできないので
、定期的な校正を実施するのが望ましい。
4.高清浄度環境下の測定
一方、測定者にとって注意すべき内容は、項目③「使用者の取扱由来」となる。
特に高清浄度環境下のように測定値が少なくなると、統計学的に大きな誤差を含
むことになるので注意を要する。詳細は参考文献等を参照して頂きたいが、例え
ば「2」というデータが得られた場合でも、その推定個数は0.2～7.2の間にあり
、ばらつきが大きい。このようなばらつきの大きいデータから、対象空間の清浄
度について合否を判断するのに、測定値が大きくなるまで測定を続けていくのも
実用的ではない。特に超高清浄度のクリーンルームでは、いくら吸引をし続けて
も粒子が計数されない事態となり、清浄度の合否判定に非常に長い時間がかかる
。そこで清浄度がISOクラス4またはそれよりも清浄なクラスの場合には、逐次サ
ンプリングによる統計的評価方法で代用してもよいとされている。現在ISOやJIS
で規定されている逐次サンプリングの評価線図を用いると、例えば仕様の清浄度
を満たすサンプリングの期待値が4.7個である場合、測定値が0個なら適合、9個
なら不適合と判定し、1～8個の場合はサンプリングを続行する。この方法を用い
ることで、測定時間を短縮することができる。
◎詳細はこちらをご覧下さい：
http://www.puriken.org/cleanroom-04.htm
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●九州半導体イノベーション協議会より －－ 『第１回製造装置研究会』
＊＊ＳＯＰＴ委員長の浅野先生がディスカッション・リーダーです＊＊
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開催日時：平成１７年７月１５日（金）１３：００～１７：００
開催場所：ホテルセントラーザ博多（福岡市博多駅東）
テーマ： 「低誘電率（low-k）層間多層配線技術と実装技術」
講師： 富士通(株)LSI事業本部 渡部 潔氏
LSI多層配線技術の実際と新たに要望される装置、実装技術について、
同社のlow-k/Cu最先端配線を事例に詳しく解説してもらう。
ディスカッションリーダー: 浅野 種正(技術創造WG主査)
主催： 九州半導体イノベーション協議会
参加費： ２０００円(交流会参加は別途３０００円)
定員： １００名
申込先：
http://www.si-cluster.jp/content03/cont03_03.php
このメールは、ＳＯＰＴ会員とその紹介者の皆様に配信しております。
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