SOPT news -- 2005/7/26
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
◎ちょっと一言
面白い光景を目にした。とある組立工場でクラス10万を狙いたいとのこと。
現地へ見に行ったら、換気扇にプレフィルターがついており（虫は採れますが）
パーティクルのデータを見せてもらったら、なるほど10万レベル。ところが隣が
道路で車がどんどん通る中で、風が吹いてきた。再度計ったら今度は30万を越え
40万に達した。そこで、夜中に計るようお願いしたら今度は15万レベルに下がっ
た。なるほどなぁ、換気扇のプレフィルターでゴミが取れると信じていた人がい
るなんて。それって家庭用の換気扇と同じこと。思わず苦笑いした。大気中のゴ
ミは昼と夜で飛び回り方が違うことや、作業室内でヒトが動き回るとゴミが飛び
回ることを12年前の論文に書いたことがある。前者は明け方５時ごろが最もゴミ
は少なく、後者は交替勤務でヒトが２倍になる午後２時ごろがピークとなる。
当たり前だけど
ヘッドライン
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■フィルターの目詰まりのメカニズム
■クリーン化技術入門 その５「クリーンルームの性能評価(2)」
●九州大学大学院システム情報科学研究院より −− 『第８回研究活動説明会』
＊＊ＳＯＰＴ副委員長の宮尾先生が講演されます＊＊
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以下本文
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■フィルターの目詰まりのメカニズム
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フィルターの目詰まりは、ケーキ形成、完全閉塞、標準閉塞に分けられます。
１．ケーキ形成：一般的に、フィルターの平均孔径より大きな粒子が膜表面に堆
積することにより「ケーキ」が形成されます。ケーキは、液体が通過できる多孔
構造のため、結果的にフィルターの粒子捕捉効率を向上させますが、フィルター
の圧力損失は高くなります。ただし、ケーキを形成するための粒子は固く、ゲル
などの様に圧縮すると変形してしまう粒子でないことが、必要となります。また
、固い粒子であっても、流体の流れや圧力振動などにより粒子間に十分な空隙が
確保できなくなると、急激な抵抗体となります。
２．完全閉塞：粒子サイズが、フィルター孔径に近い大きさの場合に生じます。
完全閉塞は、粒子がフィルターの孔を密閉してしまいます。そのため、ろ過流体
は閉塞されていない孔に流れ、そこがまた閉塞されると他に逃れていきますので
、結果的にろ過に有効な膜面積が狭くなり、圧力損失が高くなります。
３．標準閉塞：粒子がフィルター孔径より小さい場合に起きるのが、標準閉塞で
す。粒子がフィルター内部を通過する際、ブラウン運動による拡散やさえぎり、
静電気的な力などにより、粒子がろ材に触れた際、Van der Waals 力によってフ
ィルターに保持されます。その捕捉された粒子が孔内に堆積し、傾斜的に孔を閉
塞していきます。標準閉塞は完全閉塞と異なり、粒子が孔を完全に密閉してしま
うことはありませんが、粒子の吸着によって孔の径が狭くなりますので、圧力損
失が高くなっていきます。
これらの目詰まりのメカニズムを理解することで、フィルターのライフタイム
の延長や適正なフィルターの選定に役立てることができます。
◎詳細はこちらをご覧下さい：
http://www.puriken.org/news0507_Mykrolis.htm
◎問合先：日本マイクロリス(株)プロモーション担当
mailto:Info@mykrolis.com
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■クリーン化技術入門 その５「クリーンルームの性能評価(2)」
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(株)テクノ菱和 田村 一
１.分子状汚染物質の分類
半導体製造等のクリーンルームにおいて、制御すべき分子状汚染物質（AMC、
Airborne Molecular Contaminant）は、酸性物質(Acids)、塩基性物質(Bases)、
凝縮性有機物質(Condensables)、ドーパント(Dopants)、金属(Metal)の５種類に
分類される。具体的な物質名の例は、日本空気清浄協会の指針JACA No.35A-2003
やJACA No.40-2005（案）に記載されている。なお、国際標準化機構(ISO、Inter
national Organization for Standard)では、クリーンルーム関連の規格を検討
する技術委員会TC209にワーキンググループが設置(WG8)されており、分子状汚染
物質の清浄度クラスなどを審議している。
２.分子状汚染物質の清浄度
日本空気清浄協会では、特定のAMCにおける許容上限濃度を用いて(1)式のよう
にAMCの清浄度を規定している。
N<AMC>=log10（C<AMC>）・・・(1)
ただし、N<AMC>：清浄度クラス、C<AMC>：許容上限濃度［ng/m3又はng/cm2］
清浄度クラスは0〜9の範囲に設定されており、中間クラスとして小数1桁までの
クラス表示が可能となっている。なおAMCの清浄度クラス及びその表記方法につ
いては、先に述べたISO TC209 WG8に日本案として提出されている。
３.分子状汚染物質の測定法
クリーンルームにおけるAMCの測定では、測定対象となるAMCに応じてサンプリ
ング方法と分析方法が決まる。例えばCl-、NH4+などは、超純水を封入したイン
ピンジャーでサンプリングし、イオンクロマトグラフで定量分析する。また凝縮
性有機物質は、Tenax剤をガラス管に充填した吸着管でサンプリングし、ガスク
ロマトグラフ質量分析器で分析する。
４.測定時の注意事項
クリーンルームに存在するAMCの濃度は微量(気中濃度でμg/m3, ng/m3)である
ため、ブランクを極力低減する必要があり、サンプリングに使用する器具やサン
プリング剤などを取り扱う際は、十分な注意を払わなければならない。例えば、
ガラス器具に指を接触するとフタル酸エステル類が付着したり、Tenax捕集管を
太陽光に晒すと分解物が発生したりする。従って、測定者は準備・サンプリング
・前処理/分析の各段階において、測定値の信頼性に影響を与える項目を抽出し、
それらに対してそれぞれ対策を講じなければならない。
◎詳細はこちらをご覧下さい：
http://www.puriken.org/cleanroom-05.htm
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●九州大学大学院システム情報科学研究院より −− 『第８回研究活動説明会』
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《福岡会場》
開催日時：2005年9月20日（火）13:00-17:20
開催場所：福岡システムＬＳＩ総合開発センター（福岡市早良区百道浜3-8-33）
《東京会場》
開催日時：2005年9月27日（火）13:00-17:10
開催場所：ＫＫＲホテル東京（千代田区大手町1-14-1）
《主な講演》
「大規模データからの知識発見基盤技術」 情報理学部門 竹田正幸教授
「エネルギー・情報分野における最近の超伝導応用の動向」
電気電子システム工学部門 船木和夫教授
「化学感性に迫る」 電子デバイス工学部門 都甲潔教授
「未来型情報処理デバイスの夢と新結晶成長技術」
電子デバイス工学部門 宮尾正信教授
《申込要綱》
参加費：無料（懇親会は別途５０００円）
申込先：情報工学部門事務室内研究活動説明会事務局（担当：朝倉）
mailto:setsumei@kairo.csce.kyushu-u.ac.jp
詳細： http://www.isee.kyushu-u.ac.jp/index.php
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