SOPT news -- 2005/12/27
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
今年最後のＳＯＰＴニュースをお送りします。
多くの皆様に大変ご好評を頂いて参りました「クリーン化技術入門」は、今回を
もって最終回とさせて頂きます。長らくのご愛読ありがとうございました。この
場をお借りして、テクノ菱和／田村一様のご尽力に改めて感謝申し上げます。
来年もＳＯＰＴへの格別なるご支援の程、宜しくお願い申し上げます。
ヘッドライン
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
■ クリーン化技術入門 その１０「クリーンルームの清掃」
■ ケミカルフィルタによるＡＭＣｓ除去と寿命予測
● ＳＯＰＴ事務局の連絡先変更のご案内
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
以下本文
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
■ クリーン化技術入門 その１０「クリーンルームの清掃」
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
(株)テクノ菱和 田村 一
１．清掃の目的
クリーンルームを使用していると、いつの間にか床の上（グレーチング下）に
髪の毛や塵埃が落ちているのを目にする。これらは、
1)人間の行動及び作業による建材や機材 2)人体や衣服 3)作業や執務の動作の
際に使用する物
などが原因であり、これらを放置しておくと再飛散や剥離などにより製品が汚染
される。例えば、非一方向流式のクリーンルーム（床仕様はフラット床）では、
床に堆積した粒子は作業員の歩行等により再飛散によりクリーンルーム全体に拡
散し、特に渦流が形成される箇所の清浄度が低下するので、製品が汚染される危
険度が増すことになる。要するにクリーンルームにおいて、清掃は美観を維持す
るために行うのではなく、製品への汚染危険度を低減し、清浄度を維持するため
に行われる。
２. 清掃の効果
先に作業員の歩行等による再飛散の例を述べたが、床上に堆積した粒子は清掃
することで除去することができる。しかしながら、適切な清掃方法を選択しない
と高い除去効果を得ることができない。床清掃方法の違いによる床上に堆積した
粒子の除去効果を把握した例では、水拭きかつ一方向拭きの効果が高いことが確
認されている。このように適切な清掃方法を確立しておくことが重要である。
３. 室内の清掃方法および清掃頻度の例
クリーンルーム内の清掃について、清掃方法や頻度が空気清浄協会の指針で紹
介されているので、参考にしていただきたい。なお指針では、対象室の種類や位
置に応じて2種類の清掃方法（拭き取り方法）が記載されている。
清掃作業は、清掃方法や頻度から「日常清掃」「定期清掃」「特別清掃」に分類
される。これら各清掃の目的を以下に示す。
1)日常清掃：前日あるいはその日に堆積した塵埃の除去
（クリーンルーム使用者による作業）
2)定期清掃：日常の清掃で対応できない箇所への対応
（一般的に専門業者による作業）
3)特別清掃：間仕切り変更時・装置搬入時・管理値を超えた場合・事故時等へ
の対応（一般的に専門業者による作業）
クリーンルームの清浄度を維持するには、これら清掃を効果的に実施することが
必要であり、そのためには清掃計画の作成が有効である。以下に清掃計画の流れ
を示す。
＜清掃計画の作成＞
1)対象クリーンルームの表面の清浄度区分とそれぞれに対応する最善の清掃方法
を決める 2)各表面区分の要求清浄度を維持するのに必要な頻度を決める 3)清
掃スケジュールを立案する 4)清掃に関わる適切な資材・用具・洗浄液などを選
択する 5)清掃作業担当者を教育する 6)清掃資材類に関する適切な保管設備類
を準備する
４．清掃用具の管理
適切な清掃方法を確立していても、清掃用具が汚染されていては意味がない。
従って、清掃用具にも適切な管理が求められる。例えば、真空掃除機に対しては
、吸込口の拭き取りが随時あるいは毎日の頻度で推奨されている。またクリーン
ルーム用ワイパーも、素材により発塵量が異なるほか、同一メーカーでも製品に
より発塵量が異なるので、用具の選択にも注意を要する。
５．清掃時の留意事項
作業動作自体が汚染源の可能性があること認識しておく必要がある。以下に清
掃作業に関する留意事項を示す。
1)規定された方法に従い正しく行う 2)作業や歩行は静かに行う 3)不要な動作
は行わない 4)作業域の上流側には資機材を置かない 5)作業は高所部分から行
う 6)清掃用具類は所定の位置に清浄な状態で保管する 7)清掃終了後は資機材
の置き忘れ等がないよう確認する
◎詳細はこちらをご覧下さい：
http://www.puriken.org/cleanroom-10.htm
◎バックナンバーはこちら： http://www.puriken.org/cleanroom.htm
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
■ ケミカルフィルタによるＡＭＣｓ除去と寿命予測
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
半導体、液晶パネル等の電子デバイス製造において、製造雰囲気中に存在する浮
遊分子状汚染物質（ＡＭＣｓ：Airborne Molecular Contaminants）が、様々な
悪影響を及ぼし、製品歩留まりを低下させる原因となることが指摘されている。
ＡＭＣｓによる製品歩留まりの低下を防止するため、ケミカルフィルタを用いて
、電子デバイスの製造環境中から、ＡＭＣｓを排除することが行われている。
フォトレジスト塗布装置の多くには、アミン除去型のケミカルフィルタが設置さ
れており、アンモニア等の塩基性物質が、装置内部へ流入することを防ぎ、パタ
ーン欠陥防止対策としている。また、光学機器を有する露光装置においては、凝
縮性有機物等がレンズに付着することによって、透過光量が減少することを回避
するため、ケミカルフィルタによるパージガスの精製が行われている。
ケミカルフィルタの精製剤としては、通常、活性炭、薬剤添着活性炭（添着炭）
、或いはイオン交換樹脂・繊維が使用され、除去対象不純物によって使い分けら
れている。
一般に、ケミカルフィルタは高価な製品であり、規定の除去効率が維持できる範
囲で、なるべく長期間使用することが求められる。従って、ケミカルフィルタの
寿命を、より正確に予測することは、経済的な観点からも重要となる。
ケミカルフィルタの寿命を予測するために必要な基本的な考え方と、実験による
寿命予測例について紹介する。
◎詳細はこちら：
http://www.puriken.org/news0512_Mykrolis.htm
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
● ＳＯＰＴ事務局の連絡先変更のご案内
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
日本マイクロリス(株)は２００６年１月１日をもってインテグリスジャパン(株)
と合併し、日本インテグリス(株)に社名変更致します。
これに伴い、ＳＯＰＴ事務局の連絡先は来年から以下のように変更となります。
所在地及び電話/Faxは変更ありません。今後とも宜しくお願い申し上げます。
福岡市博多区博多駅東1-13-9 住友生命博多駅東ビル
日本インテグリス（株）九州営業所内
Phone.092-471-8133/Fax.092-471-8134
SOPT@entegris.com
このメールは、ＳＯＰＴ会員とその紹介者の皆様に配信しております。
今後の配信停止・宛先の変更は、お手数ですがメールアドレスをご明記の上、
このメールにご返信お願い致します。
ＳＯＰＴでは、ＳＯＰＴ会員様からの情報提供をお待ちしております。
詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せ下さい。
*****************************************************
ＳＯＰＴ事務局
二ノ宮（ニノミヤ）／古川（フルカワ）
福岡市博多区博多駅東1-13-9 住友生命博多駅東ビル
日本マイクロリス（株）福岡営業所内
Phone.092-471-8133/Fax.092-471-8134
mailto:SOPT@mykrolis.com
URL: http://www.puriken.org
*****************************************************
"Society of Purification Technology" since 1994 | 
