SOPT news -- 2006/4/27
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
３ヶ月休刊しておりましたＳＯＰＴニュースの配信を再開致します。
また、２００６年１月の日本マイクロリスとインテグリスジャパンの合併、「日
本インテグリス」への社名変更に伴い、当事務局の所属団体名が変更となりまし
た。引き続き同一体制で臨みますので、今後とも宜しくお願い申し上げます。
◎ちょっと一言【上海事情】
３月にセミコンチャイナ（上海）を覗きに行った。今年は昨年の約２倍の規模と
なり盛大であった。いかに中国の半導体産業に勢いがあるか分かる。
昨年までは、ブースもパネルとパンフレット中心で名刺交換会のイメージが残っ
ていたが、今年はニュアンスが異なりセミコンジャパン同様に実物ありビデオあ
り受付嬢（説明嬢）も充実しており、活性化されていた。とにかく規模がますま
すビッグになっていた。内容から見て"MADE IN USA/JAPAN/KOREA"が目立つが、
それでも"MADE IN CHINA"が多くなっている。それだけでも立派！！！
数年後はセミコンジャパンに肩並べるような気がします。飾りの派手さには既に
負けています。
だって、装飾の色は真っ赤と黄色！！！！ 獅子舞ありで超びっくりでした。
ヘッドライン
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■ ケミカル汚染の分析方法（基礎知識）
■ フィルトレーションの基礎知識 その１「ろ過とは」
● 『テクニカルセッション』のご案内 −− 日本インテグリス
● 『第９回Ｑ＆Ａセミナー』のお知らせ
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以下本文
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■ ケミカル汚染の分析方法（基礎知識）
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ケミカル汚染は、ＡＢＣＤにグルーピングされている。
Ａ：酸（Ａcid）
Ｂ：塩基性（Ｂasic：アルカリ性）
Ｃ：凝縮性物質（Ｃondensable：主にシリコーンやＤＯＰなどの可塑剤）
Ｄ：ドーパント（Ｄopant：Ｐ，Ｂなど）
これらの分析方法は、高価な分析装置を用いなければならない。
ケミカル汚染の分析感度は、有機物・イオン・メタルにせよ、10E+9atomsレベル
が必要である。現在、有機物はＧＣ−ＭＳ（ガスクロマトグラフィー質量分析）
、メタルはＩＣＰ−ＭＳ（プラズマ発光分光質量分析）、イオンはイオンクロマ
トグラフィーなどが用いられているが、単独では感度が追いつかないために、濃
縮させる場合が殆どである。しかしながら、濃縮は前処理を伴い高度な技術が必
要となる。ある種のノウハウでもある。
さらに、分析器具からのコンタミ（汚染）、分析環境からの汚染、標準物質の高
純度化など必要な技術ノウハウがある。
サンプリングも同様にノウハウがある。例えば、溶液捕集（インピンジャー）法
、吸着剤捕集（カラム）法、フィルター捕集法など９種類がある。従って、目的
に応じた、或いは感度に応じた方法を選択しなければならない。
さらに、検出されたデーターの解読・解釈にはリファレンスを見ながら、経験・
直感・プロセスノウハウ・材料ノウハウなどすべてが要求されるので、単純に分
析結果を鵜呑みにするわけには行かないのが現状である。
本来なら、すべてに通じたスペシャリストがいれば良いとは思われるが、多くの
場合見当たらない。有機物分析でウェーハ上に付着した各種部材・構成物のなか
で、９５％はフィルターからの放出物とも言われている。この例からも、原因物
質はプロセス起因に目を向けがちであるが、クリーンルーム構成材からの汚染も
無視できないのが現状であり、フィルターやコンクリート、コーキング剤、塗料
、プラスチック類などもう一度見直すべき課題が存在している。（王 藩鎮）
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■ フィルトレーションの基礎知識 その１「ろ過とは」
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日本インテグリス(株)
1) 定義
「ろ過」（filtration）：特定物質を透過しないフィルターを用いて、流体から
その物質を分離する操作又は技術
「フィルター」（filter）：粒子を分離するのに用いる多孔性の物体または装置
「メンブレンフィルター」（membrane filter）：JISの「膜用語」の定義では、
「精密ろ過膜」の同意語として用語に並列で記述してある。その内容は次の通り
である。「0.01〜数μｍ程度溶質又は粒子をろ過によって分離するために用いる
膜。」
2) 対象流体
ガス/エア（gasses, air）：気体。ろ過においては通常ガスとエアを分けて取り
扱うことが多い。
液体（fluid）：水/薬液/溶媒の総称
3) 流体中ろ過対象物質
粒子（particles）：不溶性微粒子（undissolved small particles）及び/また
は粒状固形物質。備考：ファイバー（Fiber）；長さが幅の3倍以上ある粒子
微生物（microorganism）：細菌（bacteria）、真菌（fungi）、リケッチア(ric
kettsia)、マイコプラズマ（mycoplasma）、ウイルス（virus）など。
◎詳細はこちら： http://www.puriken.org/filtration-1.htm
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● 『テクニカルセッション』のご案内 −− 日本インテグリス
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開催日時：２００６年６月２日（金） １０：３０〜１６：１５
開催場所：熊本エミナース（熊本テクノ・リサーチパーク内）
講座名： 10:30-12:00「薬液用フィルタの基礎」
13:00-14:30「フォトプロセスにおけるフィルタの最適な使用方法」
14:45-16:15「揮発性不純物のフォトプロセスへの影響」
参加費： 無料
主催: 日本インテグリス(株)
詳細： http://www.mykrolis.com/nihon/home.nsf/docs/ts2006_phot
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● 『第９回Ｑ＆Ａセミナー』のお知らせ
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本セミナーは、ピューリフィケーションに係わる専門分野の基礎から応用に至る
まで、各分野のスペシャリストにわかり易く解説していただくとともに、様々な
観点からの質問にお答えができる時間を充分に設けました。
開催日時：２００６年６月９日(金)
開催場所：福岡駅周辺
講演予定(敬称略)：
「キーノートスピーチ」
三菱電機(株)パワーデバイス製作所 園田信夫
「非300mmＳＯＩウェーハの技術動向 (仮)」
上海Simgui Technology社 Dr. Zhang
「局所クリーン化とその応用(仮)」
(独)産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門 原 史朗
「インテグリスのＦＯＵＰ／ＦＯＳＢ(仮)」
日本インテグリス(株)グローバルプロダクトサポート 芥河千恵子
◎詳しくは５月のＳＯＰＴニュースでご案内致します。乞うご期待！
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詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せください。
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mailto:SOPT@entegris.com
URL: http://www.puriken.org
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