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| SOPT news -- 2006/9/27 【ピューリフィケーション研究会】 ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ ◎ちょっと一言 最先端デバイスではフィルターが注目を集めている。 HEPAフィルターは1914年英国で開発され歴史は古い。現在はガラス繊維に複合濾 材をまぶしたものであるが、ボロンがケミカル汚染源となるため、ボロンレスフ ィルターが主流となっている。フィルターの濾材は複数のガラスウール繊維を混 合しバインダーにて接着することで、必要な捕集効率と圧力損失をキープするこ とで作られる。ガラスウールは一定の強度を保つために太い繊維が７〜９μｍ、 短繊維が０．５〜０．９μｍを混合させたものである。HEPAフィルターは一般に 圧力損失が大きい。フィルター濾材はプリーツ状に多数折り込まれており、フィ ルター面風速に対し濾材通過風速は約１／３０に設計されている。プリーツ状と することで、かなりの大表面積となっている。 何かこの記事はまじめすぎるみたいなので、気を緩めて！！掃除機にHEPAを付け て“ダニ取り”機能を開発したのはＭ電機の半導体研究所のクリーン化担当メン バーであった。結構、評判がよく畳とこころのかゆみもとれるので超人気商品と なった。フィルターの世界からすれば当たり前！！！ネコロンブスのたまごと言 うことか！！ ところでクリーンルームで家庭用の掃除機を使ったらいけない。これは定説であ る。お尻側の排気から想像予想以上のゴミが撒き散っている。有名なことわざに “あたま隠してしり隠さず”と同じかな？？？ ヘッドライン ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第４回 「クリーンルームの革新（ミニファブ）」 ■ フィルトレーションの基礎知識 その５「フィルターの目詰まりメカニズム」 ●『クリーンルーム作業員教育と維持・日常管理〜ノウハウ集〜』 ●『第１１回ＳＯＰＴシンポジウム』のお知らせ ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 以下本文 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第４回 「クリーンルームの革新（ミニファブ）」 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― (独)産業技術総合研究所 原 史朗 今春、NEDOのサポートを受けて、広く半導体産業全般の有識者にお集まり頂き 「ナノテクノロジー生産技術革新検討会議」を開催しました。この中で、「ミニ ファブ」の要素技術はそれなりに立ち上がりつつあるのに、実際にまだ世の中に 一つもミニファブが無いことが問題であるという議論がありました。多品種少量 生産や変種変量生産を産業界自身が目標としつつある中で、それに適したミニフ ァブ生産が成されていないのは、誠におかしなことです。結局、産業界自体の慣 性力が大きすぎるという分析が、上述会議でなされています。そうだとしても、 その慣性の方向はすでに新しい方向を向きつつあります。 今回は、ミニファブとは何か？について、現状認識を纏めておきます。 ◎この続きはこちら： http://www.puriken.org/minien-04.htm ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ■ フィルトレーションの基礎知識 その５「フィルターの目詰まりメカニズム」 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 日本インテグリス(株) フィルターの目詰まりのメカニズムは、一般に以下の３つに分類される。 (1) 完全閉塞モデル（Complete Plugging Model) 粒子サイズが、フィルター孔径に近い大きさの場合に生じる。完全閉塞は、粒子 がフィルターの孔を密閉してしまう。そのため、ろ過流体は閉塞されていない孔 に流れ、そこがまた閉塞されると他に逃れていくので、結果的にろ過に有効な膜 面積が狭くなり、圧力損失が高くなる。 (2) 標準閉塞モデル（Gradual Plugging Model） 粒子がフィルター孔径より小さい場合に起きるのが、標準閉塞である。分子間力 によって捕捉された粒子は孔内に堆積し、傾斜的に孔を閉塞していく。標準閉塞 は完全閉塞と異なり、粒子が孔を完全に密閉してしまうことはないが、粒子の吸 着によって孔の径が狭くなるので、ある保持量までは圧力損失が緩やかである。 (3) ケーキ形成モデル（Cake Formation Model) 一般的に、フィルターの平均孔径より大きな粒子が膜表面に堆積することにより 「ケーキ」が形成される。ケーキは液体が通過できる多孔構造のため、結果的に フィルターの粒子捕捉効率を向上させるが、フィルターの圧力損失は高くなる。 ただし、ケーキを形成するための粒子は固く、ゲルなどの様に圧縮すると変形し てしまう粒子でないことが、前提条件となる。また、固い粒子であっても、流体 の流れや圧力振動などにより粒子間に十分な空隙が確保できなくなると、急激な 抵抗体となる。 ◎全文＋図表はこちら： http://www.puriken.org/filtration-5.htm ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『クリーンルーム作業員教育と維持・日常管理〜ノウハウ集〜』 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― どこまできれいにすればよいのか？ 汚い所は、もっと汚くなる？ きれいさ加減 の定量化が困難？・・・百数十件にも及ぶ発塵試験データのパワーポイントスラ イドで詳細解説！ 材料，人，作業環境 ・・・ 見落しがちな汚れ発生源，間違った指導管理による 二次汚染の防止！ 執筆者：三菱電機(株)パワーデバイス製作所 工学博士 園田信夫 氏 出版元：技術情報協会 発刊日：２００６年９月３０日 体裁： Ａ４判 約２００頁 価格： 定価６９，３００円／シーズシー予約特価６３，０００円 詳細： http://www.gijutu.co.jp/doc/b_1356.htm http://www.csc-biz.com/information/panf/panf.htm ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『第１１回ＳＯＰＴシンポジウム』のお知らせ ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 開催日時：平成１８年１１月１０日(金)、１０：００−１７：００(9:30開場) 開催場所：アスクビル（博多駅筑紫口より徒歩約5分） 定員： ５０名 参加費： 会員１０，０００円（非会員１３，０００円） 詳細： http://www.puriken.org/symp-11.htm このメールは、ＳＯＰＴ会員とその紹介者の皆様に配信しております。 今後の配信停止・宛先の変更は、お手数ですがメールアドレスをご明記の上、 このメールにご返信ください。 ＳＯＰＴでは、ＳＯＰＴ会員様からの情報提供をお待ちしております。 詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せください。 ***************************************************** ピューリフィケーション研究会（SOPT）事務局 二ノ宮（ニノミヤ）／古川（フルカワ） 福岡市博多区博多駅東1-13-9 住友生命博多駅東ビル 日本インテグリス（株）九州営業所内 Phone.092-471-8133/Fax.092-471-8134 mailto:SOPT@entegris.com URL: http://www.puriken.org ***************************************************** "Society of Purification Technology" since 1994 |
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