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| SOPT news -- 2006/11/30 【ピューリフィケーション研究会】 ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ 過日のシンポジウムでは、多くの皆様にご参加を頂き、誠に有難う御座いました 。この場をお借りして、重ねて御礼申し上げます。 今後ともＳＯＰＴへの格別なるご支援の程、宜しくお願い申し上げます。 第11回シンポジウム会場風景>> http://www.puriken.org/symp-118.htm ◎ちょっと一言 クリーン化の話をするときに気になることがある。“ゴミ”と言ったり“パー ティクル”と言ったり“ダスト”や“塵埃”と言ったり。まあ、区別があるよう で無いようで困ったもんだ。“塵埃”は塵と埃だから分かりやすい。と、そのと き面白い記事を見た。『クリーンルーム作業員教育と維持・日常管理』という本 である。ここに答えがあった。少し長くなるけど紹介する。 「ゴミとは“無用なもの”の総称である。また、粒子とは細かいツブを指してい る。微粒子とはさらに細かい粒子のことを指している。パーティクル(Particle) とはWebster辞典によれば "A piece of matter so small as to be considered without magnitude" と示されており、微粒子とほぼ同じ意味である。従って、 クリーン化ではパーティクル、５Ｓ・６Ｓではゴミと表現するのが妥当である。 異物は目的とするものとは異なるものの総称であり、ゴミであれパーティクルで あれ、目的以外のものは異物であり不要なものであって中には製品に悪影響を及 ぼすものもあるとされる。従って、製品側から見てデバイス構造や配線幅に係わ らず異物は異物であり、とりたて小さいサイズは微小異物と呼ばれることが多い 。また、ダスト(dust)はWebster辞典では、"Earth or any other matter so fin ely powdered and so dry that it is easily suspended in air" と説明されて おり、空気中に浮遊する微粒子や粉体(powder)を示している。 さらに、微粒子 にはHume(金属微粒子)、Mist(薬品類の微粒子)、Moisture(水の微粒子)がこれに 加わる。また、塵埃とは単純にチりとホコリでありクリーン化では論外である。 微粒子の定義は明確ではないが、概ね10μｍ以下を微粒子、それ以上の大きさを 粒子、そして粒子が集まった粉体と区別すると分かりやすい。 今、先端デバイスの配線幅は65ｎｍ以下となり、管理対象微粒子径はその1/2で 概ね30ｎｍである。従って、製品上の微小異物も30ｎｍとなる。微粒子として考 える範囲は酸・アルカリ，シリコーン樹脂、可塑剤（DOP/DBP etc.)などの分子 状汚染物質(AMCs；Airborne Molecular Contaminants)、と酸・アルカリミスト、 タバコの煙、バクテリアなどが対象となっている。クリーン化技術では、パーテ ィクルや微粒子の定義がどうであれ、微小異物を対象とし製品側へ影響を与えな い抑制技術を取り扱うものと考えるべきである。」 いやー、なるほどと思う。著者はきっといい人に違いない。いや絶対にいい人 である。噂によると著者は愛煙家らしく、分子状汚染を受けているそうである。 クリーン化を語る資格なし．．．。（王 藩鎮） ヘッドライン ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第６回 「生産技術革新としての局所クリーン化(2) 見える化〜IT管理との整合性」 ●『クリーンルーム作業員教育と維持・日常管理〜ノウハウ集〜』 ●『局所クリーン化の世界』 ●『セミコン・ジャパン２００６』 −− ＳＥＭＩジャパン ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 以下本文 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第６回 「生産技術革新としての局所クリーン化(2) 見える化〜IT管理との整合性」 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― (独)産業技術総合研究所 原 史朗 最近”見える化”という言葉が流行っています。一体"見える"とどんな効果が あるのでしょうか。見える化を正しく進めると、実は想像を超える生産性〜たと えば、４０倍の生産性を達成することがあります。300mm化でFOUP/AMHSシステム が完成し、業界では３割の生産性を達成したとされています。４０倍とはいかに も信じがたいのですが、どのようなことなのでしょうか。 見える化は、トヨタ生産方式に起源を発していると言って良いと思います。そ の流れを辿ると、豊田佐吉が、自動織機を発明する過程に行き着きます。大正末 期までは、糸切れを監視して糸交換するために、１台の機織り機に１人の工員さ んがついていました。機械台数分だけ工員さんが雇用されていたわけです。佐吉 は、多数の機織り機の監視をなんとか１人に出来ないかと考えて、たて糸切断自 動停止装置など一連の自動化対応機構を考案したのでした。たて糸が切れると自 動的に装置が止まるので、糸が切れたまま織り続けて不良が出てしまう問題が解 消されました。工員さん１人で４０台を担当できるようになり、単純に言えば、 人件費については４０倍の労働生産性にアップしました。一般の製造に置き換え て言えば、不良が発生した時、その製造装置がそれを検知し、その不良をその場 で直し、また製造を継続する。このことで、不良が次の工程に流れるムダが全く 発生しなくなるということです。このように、見える化は、不具合自動修正の仕 組みとの連動でその真価が発揮されてきます。 さらに一般的には、ＩＴ管理は単純にソフトを導入すれば良いというわけでは ありません。その対象とする製造装置や製造品がＩＴ管理されやすくなっていな ければなりません。対象のオブジェクト性が高いほど管理が容易になります。ご ちゃごちゃした様々なものを集約的に自動管理するのは、複雑さが増えて結局管 理しきれません。製造物のオブジェクト性を高くすることの具体的手法は、製造 物や製造装置をカプセル化することです。カプセル化して製造物を運ぶなら、同 時に前室を製造装置に付けてあげさえすれば、それは即、局所クリーン化生産シ ステムの仕組みを持つことになります。ですから、最近言われているＩＴ管理を 突き詰めると、クリーン化を敢えて必要としなくても、局所クリーン化生産シス テムが一つの答えとなってきます。このオブジェクト化とともに、先の製造不具 合の検知や自動修復などの機能を開発することでＩＴ管理が威力を発揮すること になります。 ◎この続きはこちら： http://www.puriken.org/minien-06.htm ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『クリーンルーム作業員教育と維持・日常管理〜ノウハウ集〜』 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― どこまできれいにすればよいのか？ 汚い所は、もっと汚くなる？ きれいさ加減 の定量化が困難？・・・百数十件にも及ぶ発塵試験データのパワーポイントスラ イドで詳細解説！ 材料，人，作業環境 ・・・ 見落しがちな汚れ発生源，間違った指導管理による 二次汚染の防止！ 著者： 園田 信夫 出版元：技術情報協会 体裁： Ａ４判 約２００頁 価格： 定価６９，３００円（税込） 詳細： http://www.gijutu.co.jp/doc/b_1356.htm ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『局所クリーン化の世界』 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― コストダウンと生産性向上が喫緊の課題となっている今、全製造工程を局所クリ ーン化して、人と製造物を完全に分離した新生産方式が脚光を浴びている。本書 では、飛躍的生産性を実現し、また環境問題のキーテクノロジーともなりつつあ るこの新しい時代の技術について、原理と実例、そして様々な産業への応用をわ かりやすく解説する。 著者： 原 史朗 出版元：(株)工業調査会 Ｋブックスシリーズ 発刊日：２００６年１２月７日 体裁： Ｂ６判 約２２０頁 予定価：２，１００円（税込） ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『セミコン・ジャパン２００６』 −− ＳＥＭＩジャパン ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 開催日時：２００６年１２月６日（水）−８日（金）１０：００〜１７：００ 開催場所：幕張メッセ（千葉市） 主催： ＳＥＭＩジャパン 事前登録： http://www.semi.org/sj06 半導体産業とともに成長してきたセミコン・ジャパンは今年いよいよ第30回とい う記念すべき節目を迎えます。セミコン・ジャパン2006の三日間は新技術・新製 品、実機・実物によるデモンストレーション中心に各社の英知、高い専門性・技 術が結集され、業界の皆様と共にイノベーションを創出する場となります。多く の皆さまの御来場をお待ち申し上げます。 このメールは、ＳＯＰＴ会員とその紹介者の皆様に配信しております。 今後の配信停止・宛先の変更は、お手数ですがメールアドレスをご明記の上、 このメールにご返信ください。 ＳＯＰＴでは、ＳＯＰＴ会員様からの情報提供をお待ちしております。 詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せください。 ***************************************************** ピューリフィケーション研究会（SOPT）事務局 二ノ宮（ニノミヤ）／古川（フルカワ） 福岡市博多区博多駅東1-13-9 住友生命博多駅東ビル 日本インテグリス（株）九州営業所内 Phone.092-471-8133/Fax.092-471-8134 mailto:SOPT@entegris.com URL: http://www.puriken.org ***************************************************** "Society of Purification Technology" since 1994 |
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