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SOPT news -- 2006/12/26 【ピューリフィケーション研究会】


ピューリフィケーション研究会(SOPT)会員の皆様へ

◎ちょっと一言
最近は製品に静電気があるとゴミを吸着させるということで、クリーン化技術の
中で静電気対策を扱うことが多くなっている。静電気の本質は電子であり除去に
はイオナイザー(まあイオン発生器でしょう)が用いられている。
ところでマイナスイオンは健康によいと聞く。次のような短絡思考があるらしい
<滝のしぶきはイオンが多い→心身のリラックス→マイナスイオンは身体に良い>
「じゃプラスイオンはどうなのか?」ここに科学的発想が乏しい。
水からのお告げで、「ありがとう」と書かれた文字を見た水はきれいな結晶を作
る。「ばかやろう」と書かれた文字は汚い結晶となると書いた写真集が10万部売
れたそうな。そんなことはありえない!!買う人の気持ちがわかりませ−ん??
科学的にもマイナスイオンの効能は迷信でしょうと言っている世の中で。但し、
こういう場合は「気のせい」と言います。
でも、静電気除去にはイオンは効果があります。但しプラス帯電の場合のみです
が。特に水分が40%以上あるなら確実に利きます。こんなこと考えながら原稿
書いてると来年の方向からオニさんが笑っているかも知れない。
静電気対策は「水分」つまり「湿度」が一番有効であることを言いたいために、
イオン論を引き合いに出したけど。。。
ごめんなさい、来年もよろしく"真理”を求める著者から皆様へ(藩鎮)

ヘッドライン
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■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第7回「生産技術革新として
  の局所クリーン化(3) カプセル化とパラレル型によるリスク分散」

■ 300mmプライムとウェーハキャリアに与える影響
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以下本文
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■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第7回「生産技術革新として
  の局所クリーン化(3) カプセル化とパラレル型によるリスク分散」
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                     (独)産業技術総合研究所 原 史朗
 工場建設を横目で見ながら、装置テストをこなす・・・これまでのクリーンル
ームの考え方では、ありえないことが、カプセル化された装置やカプセル化され
た搬送系では、実にスマートに出来てしまいます。ウェーハを搬送しながら、装
置の交換を行う・・・これもちょっと前までは、非常識の烙印を押されていた行
為ですが、これが出来てしまいます。また、大地震の時、工場内のカプセル化が
進んでいたら、復旧作業はとても楽になることでしょう。最近ではリスクに強い
工場が求められています。特にリスク対策には、このようなカプセル化が、実用
的手法としてとても役に立ちそうです。

◎この続きはこちら: http://www.puriken.org/minien-07.htm

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■ 300mmプライムとウェーハキャリアに与える影響
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「電子ジャーナル」9月号の掲載記事(Entegris, Inc.出稿)より
 450mmウェーハの導入時期が2012年とITRSで明記され、導入に向けた議論に熱
が帯びてきている。ムーアの法則を実現するには450mmへの移行は欠かせないと
する意見がある一方、大型化により膨れ上がる設備投資はコストメリットを生み
出さないとの声もある。この2つの見解の妥協点となり得るのが“300mm Prime”
である。本稿では、ウェーハキャリアメーカーの視点から300mm Primeの要点を
まとめ、かつ、その潜在的な利点や問題点について述べる。

◎この続きはこちら: http://www.puriken.org/news0612_Entegris.htm


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最終更新日 : 2008/01/09