 |
|
|
| SOPT news -- 2007/2/14 【ピューリフィケーション研究会】 ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ ◎ちょっと一言 静電気の本質を考えてみた。電界？磁界？ファラデーの法則？何で静電気が発生 するのだろうか？単純には擦った下敷きを頭に近づければ電子が偏り毛髪が引っ 張られて立つぐらいのことは中学生でも分かる。これが何故だということになる と量子化学の分野まで遡る。また、静電気学・物理・電磁気の教科書見ても数式 が一杯で本質を語るには大変辛い。でも分かったことがある。電子には磁気量子 数・スピン電子量子数・方位量子数があって、シュレーディンガーの波動方程式 を解くとそこに複雑な思いとなることである。さらに波動説・粒子説の歴史まで 引っ張り出さなくてはならない。単純には静電気も電磁気も電磁波として直交し ながら同時にくっ付いて仲良く飛び回っていると考えると気が楽になった。 でも、それが本質である。 ヘッドライン ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第８回「生産技術革新として の局所クリーン化(4) 大いなるムダの発生」 ●『半導体クリーン化技術セミナー』 −− 半導体産業新聞 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 以下本文 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第８回「生産技術革新として の局所クリーン化(4) 大いなるムダの発生」 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― (独)産業技術総合研究所 原 史朗 半導体の前工程プロセスでは、処理中のウェーハは僅か７５０枚に１枚である ・・・と言ったら、相当の玄人でも俄には信じられないというのが、実感なので はないでしょうか。しかしこれは、定量性はともかくオーダーとして真実です。 そのくらい半導体工程はムダだらけになってしまっています。以下では、その辺 の様子を見てみましょう。 まず、半導体前工程の先端工場では、製造装置が３００台かそこらの数設置さ れています。これは、ファブの規模や生産品によって、大分変わりますが、ほぼ このくらいと考えて良いようです。そして、搬送容器であるＦＯＵＰは１万個程 度も存在しています。まず、FOUP個数が素人の想像より１桁上なのが現状です。 そうすると、３００台÷１万個＝１／３３となり、３３個に１個しか、製造装置 前に接続されていないことになります。もちろん、専門的には製造装置の前室で あるＥＦＥＭの前には２〜３個のFOUPが接続できますが、待機中のFOUPを含んで いますので、考え方として装置前には１個として差し支えありません。他のFOUP 、すなわち３３個のうちの３２個は、どこかの棚に置かれていたり、搬送レール 上にあったり、ストッカー中にあったりします。工場は、お休みＦＯＵＰだらけ 、というのが現状です。 さらに、最近では、枚様式が７〜８割を占めていると言われています。新型製 造装置では、ほとんどが枚様式としてラインナップされるようになりました。と いうことは、前室の前に接続されているFOUP内の２５枚のウェーハの内、１枚だ けが論理的には製造中、ということになります。これも、クラスター装置という 装置内でシリーズに数工程処理する装置の場合には、数枚同時に処理中となるこ ともありますが、考え方としては、FOUP内の１枚１枚が順次処理されますし、実 際２５枚一度に処理することはできません。そうすると、１／３３×１／２５＝ １／７５０となるわけです。 このようなお休みウェーハで溢れた状態は、工場内のムダの塊の一例に過ぎま せん。他にも、投入電力や投入資源の製造チップでの利用効率は１／１０００の 桁程度になっていることなど、多大なムダが生じています。これだけムダがある と、その効率改善には、やることが五万とあることになります。歩留まりを９５ ％→９６％に向上させるということに努力を払いすぎるのは、企業活動として明 らかにアンバランスです。企業はようやくこのへんのことに気づき始めました。 ◎この続きはこちら： http://www.puriken.org/minien-08.htm ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『半導体クリーン化技術セミナー』 −− 半導体産業新聞 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 日時： ２００７年２月２１日（水）１０：００〜１７：００ 場所： 東京・御茶ノ水 明神会館（神田明神境内） 講師： 三菱電機(株)パワーデバイス製作所 園田信夫氏 日本インテグリス(株)応用技術開発 大屋敷靖氏 シーズシー(有)代表取締役 稲永健氏 参加費：４２，０００円（テキスト、食事・飲み物、消費税込） 主催： 半導体産業新聞 詳細： http://www.semicon-news.co.jp/forum/htm/ev070221-j.htm このメールは、ＳＯＰＴ会員とその紹介者の皆様に配信しております。 今後の配信停止・宛先の変更は、お手数ですがメールアドレスをご明記の上、 このメールにご返信ください。 ＳＯＰＴでは、ＳＯＰＴ会員様からの情報提供をお待ちしております。 詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せください。 ***************************************************** ピューリフィケーション研究会（SOPT）事務局 二ノ宮（ニノミヤ）／古川（フルカワ） 福岡市博多区博多駅東1-13-9 住友生命博多駅東ビル 日本インテグリス（株）九州営業所内 Phone.092-471-8133/Fax.092-471-8134 mailto:SOPT@entegris.com URL: http://www.puriken.org ***************************************************** "Society of Purification Technology" since 1994 |
|
この Web サイトに関するご質問やご感想などについては、sopt@entegris.comまで電子メールでお送りください。
|