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| SOPT news -- 2007/4/24 【ピューリフィケーション研究会】 ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ ◎ちょっと一言 HEPAフィルターは1914年英国で開発され歴史は古い。戦争中にろ過技術が必要 となったため開発されたらしい。まさに国家的技術開発だったという。現在まで はガラス繊維に複合濾材をまぶしたものであるが、ガラスに硼珪酸ガラスを使用 していたために硼素（ボロン）がフッ酸などとの反応でにより放出されるために ケミカル汚染源となった。このため最近ではボロンレスフィルターが主流となっ ている。フィルターの濾材は複数のガラスウール繊維を混合しバインダーにて接 着することで、必要な捕集効率と圧力損失をキープすることで作られる。ガラス ウールは一定の強度を保つために太い繊維が7〜9μｍ、短繊維が0.5〜0.9μｍを 混合させたものである。HEPAフィルターは一般に圧力損失が大きい。フィルター 濾材はプリーツ状に多数折り込まれており、フィルター面風速に対し濾材通過風 速は約1/30に設計されている。プリーツ状とすることで、かなりの大表面積とな っている。 1000000個/cf、0.5μｍでの寿命は108日であるが、クラス1000以上の高清浄度 室では半永久となる。と、言うことはHEPAは目詰まり起こしやすいという過去の 経験はよく考えれば当てはまらない。プリーツの技術により大面積になったのは ほんの数十年前で大躍進。だから、安心してHEPAを使いこなす時期が来たと思う 。最近は需要も増え生産技術も向上したのでHEPAの値段も下がっているしさらに 大躍進。それに掃除機に取りつけても「ダニ取り」効果抜群！健康面でも貢献し ている。HEPAとはHigh Efficiency（高効率）のParticulate Air Filter（微粒 子除去フィルター)のことだから至極当然にも思える。 ヘッドライン ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第１１回「デジタル歩留まりとアナログ歩留まり」 ●『第１０回 ＳＯＰＴ Ｑ＆Ａセミナー』のお知らせ ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 以下本文 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第１１回「デジタル歩留まりとアナログ歩留まり」 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― (独)産業技術総合研究所 原 史朗 普通歩留まりと言うと、５０％を何とか儲かるところへ持って行くというか言 う話で、上限が１００％の良品か不良品かの二者択一の、いわばデジタル歩留ま りの話を言います。これですと、いくらがんばっても９０％を超えたら、クリー ン化を含む不良率改善の仕事がとてもきつくなります。しかも１００％で天井に 達してしまいます。クリーン化業界では、これまでこのデジタル歩留まりの改善 が大義名分であったわけです。これに対して、最近では、アナログ歩留まり（特 性ばらつき）が、半導体業界で大問題になっています。つまり、良品の中にも性 能の良いものと悪いものが出来てしまうのです。その性能で、商品であるチップ の価格が大きく違うので、重大です。同じプロセスで造ったＣＰＵの動作周波数 が２ＧＨｚ（１，２万円）〜４ＧＨｚ（１０万円）とばらついたり、ＤＲＡＭ内 の個別のメモリセルの保持時間が秒単位からｍｓｅｃと何桁もばらついたりする のも、アナログ的な歩留まりの代表例です。これらの改善こそ、商品価格自体を 左右する新しい課題であり、今後のクリーン化業界のテーマとなるべきものです。 ◎この続きはこちら： http://www.puriken.org/minien-11.htm ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『第１０回 ＳＯＰＴ Ｑ＆Ａセミナー』のお知らせ ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 本セミナーは、ピューリフィケーションに係わる専門分野の基礎から応用に至る まで、各分野のスペシャリストにわかり易く解説していただくとともに、様々な 観点からの質問にお答えができる時間を充分に設けました。 開催日時：２００７年６月８日(金)、１０：００−１７：００ 開催場所：福岡駅周辺 講演予定(敬称略)： 「これなら分かる半導体製造プロセス」 (株)産業タイムズ社 半導体産業新聞 松下晋司 「半導体製造プロセスのクリーン化とウェーハ表面汚染評価技術」 (株)東芝 セミコンダクター社 嶋崎綾子 「循環システムにおけるフィルタとポンプの効果」 日本インテグリス(株)応用技術開発本部 千葉幸司 「静電気の基礎知識と対策方法の基本」 三菱電機(株)パワーデバイス製作所 園田信夫 ◎詳しくは５月のＳＯＰＴニュースでご案内致します。乞うご期待！ このメールは、ＳＯＰＴ会員とその紹介者の皆様に配信しております。 今後の配信停止・宛先の変更は、お手数ですがメールアドレスをご明記の上、 このメールにご返信ください。 ＳＯＰＴでは、ＳＯＰＴ会員様からの情報提供をお待ちしております。 詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せください。 ***************************************************** ピューリフィケーション研究会（SOPT）事務局 二ノ宮（ニノミヤ）／古川（フルカワ） 福岡市博多区博多駅東1-13-9 住友生命博多駅東ビル 日本インテグリス（株）九州営業所内 Phone.092-471-8133/Fax.092-471-8134 mailto:SOPT@entegris.com URL: http://www.puriken.org ***************************************************** "Society of Purification Technology" since 1994 |
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