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| SOPT news -- 2007/5/29 【ピューリフィケーション研究会】 ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ ◎ちょっと一言 まじめなお話で怖いお話を一言！純水中に電解質が0.1μg/L(=ppb)増加すると 、比抵抗は0.1MΩ・cm 変化する。また、純水の温度が0.1℃変化すると、比抵抗 は同様に0.1MΩ・cm 変化する。純水中に容易に空気中の炭酸ガス(CO2)が溶け込 む。このため、比抵抗は１MΩ・cmレベルまで低下する。これはヘンリーの法則 であり、超純水が静電気を帯びる帯びないの境目になる。 超純水の管理を怠るとバクテリアが湧く。85％程度がPseudomonas菌(棹菌)で あり、2〜5μｍ程度のこん棒状である。通常は、一個で存在するのではなく、増 殖によりコロニーを形成している。このPseudomonas菌の無機成分はP・K・Na・ Ca・S・Ma・CaなどでありFeやAlなどの金属をも含んでいる。栄養源は水に溶け た何でもである。雑食である。細胞分裂で数日で１個が１００万個レベルまで増 える。その後死滅し死骸化するが、すぐに次世代の増殖が始めるため、死骸菌・ 生菌とも異物として存在し始末に終えない。バクテリアは絶対甘く見てはならな い。生きても死んでも厄介物ものである。こいつらは不良の山を作り込みます。 お気をつけて！！因みに過酸化水素を用いて配管系を殺菌するのが一般的である。 今回は夏に向けて怖いお話でした。 ヘッドライン ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第１２回「ガス遮断型ＥＰＳ：産総研開発事例」 ■「クリーンルーム 裾野広がる」 −− 半導体産業新聞5月23日号より ●『テクニカルセッション』のご案内 −− 日本インテグリス ●『第１０回 ＳＯＰＴ Ｑ＆Ａセミナー』残りあと２席！ ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 以下本文 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ■ 変種変量生産時代の局所クリーン化生産方式 第１２回「ガス遮断型ＥＰＳ：産総研開発事例」 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― (独)産業技術総合研究所 原 史朗 コンタミネーションというと、伝統的にパーティクルが中心であった訳ですが、 最近では有機物や酸性ガスなども、制御対象として捉えられるようになってきま した。それでは、ついでに酸素もコンタミです。と言ったら、皆さんどう思われ るでしょうか。酸素は他のコンタミと違って、溢れるほど製造環境に多量に存在 しています。従来はこの酸素の多量性による環境内酸素の制御性の悪さ故に、酸 素のデバイス特性への影響は、あまり調べられてきませんでした。それで、酸素 がコンタミとして認識されてこなかったのです。産総研では、1990年代から、環 境要因の完全な制御環境を実現する、ハイパーミニプロセスシステムを開発して きました。これは一つのEPSシステム（局所クリーン化リサーチシステム）です。 ガス遮断が可能という意味で完全な環境遮断性能を持っています。今回は、この システムの概要と、前回お話ししたアナログ歩留まり問題についての基礎実験の 結果をお話しします。 ◎この続きはこちら： http://www.puriken.org/minien-12.htm ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ■「クリーンルーム 裾野広がる」 −− 半導体産業新聞5月23日号より ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 半導体の増産投資や液晶、プラズマといったＦＰＤ（フラット・パネル・ディス プレー）の大型投資が相次いで実施された2006年は、クリーンルーム関連各社に も追い風をもたらした。施工各社は軒並み前年度を上回る実績を確保しており、 関連機器メーカーの業績も同様に好調に推移している。 半導体・液晶など高度な生産環境の象徴であったクリーンルームは、今大きく市 場を広げている。材料メーカーや装置メーカー、組立工場といったサプライチェ ーンの川上、川下に広くクリーン化技術が浸透しており、周辺産業を取り巻く高 品質化、高生産性の動きは、クリーンルームを必須の生産環境としており、もの づくり王国の復権をねらう日本の重要な基礎技術を形成している。こうした市場 の裾野にある多くのニーズをどのように吸収していくか、クリーンルーム施工技 術が成熟化した現在、施工各社や機器メーカーの事業戦略の重要な部分を占める ことになる。 ◎この続きはこちら： http://www.semicon-news.co.jp/news/htm/sn1740-j.htm ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『テクニカルセッション』のご案内 −− 日本インテグリス ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ◎開催日時：２００７年６月１３日(水)、１０：３０〜１６：１５ ◎開催場所：熊本エミナース（熊本テクノ・リサーチパーク内） ◎講座名： 10:30-12:00「薬液用フィルタの基礎」 13:00-14:30「フォトプロセスに使用される液体の汚染・流量制御」 14:45-16:15「レチクルポッドの基礎とＥＵＶ向け搬送への応用」 ◎参加費： 無料 ◎主催: 日本インテグリス(株) ◎詳細： http://www.entegris.com/nihon/TechnicalSession.aspx ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『第１０回 ＳＯＰＴ Ｑ＆Ａセミナー』残りあと２席！ ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ◎開催日時：平成１９年６月８日(金)、１０：００−１７：００(9:30開場) ◎開催場所：八重洲博多ビル（博多駅筑紫口より徒歩約5分） ◎定員： ５０名 ◎参加費： 会員１０，０００円（非会員１３，０００円） ◎詳細： http://www.puriken.org/qa-10.htm ◎申込み： ＳＯＰＴ事務局まで直接お問い合わせください このメールは、ＳＯＰＴ会員とその紹介者の皆様に配信しております。 今後の配信停止・宛先の変更は、お手数ですがメールアドレスをご明記の上、 このメールにご返信ください。 ＳＯＰＴでは、ＳＯＰＴ会員様からの情報提供をお待ちしております。 詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せください。 ***************************************************** ピューリフィケーション研究会（SOPT）事務局 二ノ宮（ニノミヤ）／古川（フルカワ） 福岡市博多区博多駅東1-13-9 住友生命博多駅東ビル 日本インテグリス（株）九州営業所内 Phone.092-471-8133/Fax.092-471-8134 mailto:SOPT@entegris.com URL: http://www.puriken.org ***************************************************** "Society of Purification Technology" since 1994 |
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