SOPT news -- 2008/1/30
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
◎ちょっと一言
導電性無塵服の評価をしながら思った。導電糸はまあ大した違いはないが、織り
込み方で大変な差が出る。無塵服は縦糸横糸が同じなら生地がごわごわして動き
にくい。だから縦糸と横糸のサイズを変えている。そこに導電糸を織り込むとき
、縦か横のみだと静電気が逃げにくいので、格子状に織り込む。この密度によっ
て除電効果が変化する。当たり前と言えば、その通りだが。ところで、２ピース
は袖や腹回りは生地を織り込む。実は織り込む時に導電糸同士がくっ付くように
縫い込むと除電効果が良くなる。まあ、これに気が付くまでに時間がかかった。
ところで、これを何回も洗濯すると、導電糸が切れない限り除電効果は低下しな
い。で、洗濯寿命はと言うと「導電糸が切れる前に、生地が破れる」ようである
。だから気にしなくていい。ここまでは誰も気が付くまい。（藩鎮）
ヘッドライン
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■ 環境にやさしい機能水を用いた洗浄技術 「機能水とは」
●『クリーンルーム基礎講座シリーズ（全６回）』−−日本工業出版
●『クリーンルームの基本と改善のチェックポイント』−−情報機構
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以下本文
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■ 環境にやさしい機能水を用いた洗浄技術 「機能水とは」
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野村マイクロ・サイエンス(株) 柳 基典
半導体やフラットパネルディスプレイ分野において、環境にやさしい洗浄技術
として、機能水と呼ばれる「水」の採用が進んでいます。環境問題への配慮およ
び生産コスト削減といった両方の視点から導入されはじめ、近年とくに効果が出
始めています。まずは、この環境にやさしい機能水について、どのようなものが
あるか、ご説明いたします。
機能水と呼ばれている「水」は、一般的に利用されている分野（医療、医薬、農
業、飲料、食品製造、厨房等）や目的（洗浄、殺菌、飲用、美容等）によって様
々な定義や解釈が存在しています。また、定義は、特定の化学物質が水に含まれ
ていることを限定しているものではなく、非常にあいまいです。ここで、半導体
やフラットパネルディスプレイの洗浄用途を目的とした機能水の場合に限定する
と、ある程度の共通項を見出すことが出来ます。そこで、この洗浄分野の機能水
について分類してみました。
≪気体添加型≫
内容：超純水に含まれていない気体を適当量溶解したり、飽和濃度まで溶解した
もの。
特長：水とガスの相乗効果が現れる。
超音波などと併用される場合もある。
種類：オゾン水、水素水、炭酸水、窒素水、酸素水ほか
≪薬品添加型≫
内容：超純水に数ppmの薬品を添加したもの。
特長：薬品添加量は、数ppm程度で微量である。
気体添加型機能水と併用すると次の効果が得られる場合がある。
->効果を持続することができる。効果を高めることができる。
超音波などと併用される場合もある。
種類：電解水（アノード水、カソード水）アンモニア添加水、塩酸添加水、フッ
酸添加水ほか
半導体やフラットパネルディスプレイの洗浄分野で用いられる機能水は、取り扱
いやすいガスや、流通している汎用薬品を使用している実例が多く、かつ、従来
からある薬品による洗浄の代替として利用されているので、機能水を洗浄に用い
ることで、使用薬品量が低減でき、かつ、排水処理は、大規模な処理設備も不要
となり、非常に環境にやさしい技術として、活躍しています。
◎ウェブページ： http://www.puriken.org/nms-01.htm
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●『クリーンルーム基礎講座シリーズ（全６回）』−−日本工業出版
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開催日時：２００８年１月２４日より毎週木曜日、１３：００〜１７：００
開催場所：機械振興会館（東京都港区芝公園）
講師： (株)大林組／諏訪好英氏、(株)朝日工業社／本田重夫氏、高砂熱学工
業(株)／大久保義典氏、(株)テクノ菱和／田村一氏、千代田テクノエース(株)／
山本知之氏・馬場憲雄氏、(株)日立プラントテクノロジー／小西俊一氏
参加費： 各回３１，５００円（税込）
主催： 日本工業出版(株)
詳細： http://www.nikko-pb.co.jp/sem_fomel08nyuu.shtml
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●『クリーンルームの基本と改善のチェックポイント』−−情報機構
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開催日時：２００８年２月１５日（金）１０：３０〜１６：３０
開催場所：川崎市産業振興会館（神奈川県川崎市）
講師： 三菱電機(株)パワーデバイス製作所 園田信夫氏
参加費： ４３，０５０円（昼食、税込）
主催： (株)情報機構
詳細： http://www.johokiko.co.jp/seminar_chemical/AC080214.php
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