SOPT news -- 2008/2/26
【ピューリフィケーション研究会】
ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
◎ちょっと一言
先週末、朝５時頃目が覚めて外に出たら雪が舞っていた。よく見ると、雪は風向
きに従ってくるくる回りながら降っていた。すずめが横切って行ったが、顔や羽
に雪が積もらないか見ることはできなかった。気流って降り積もるゴミを思いの
ままに運べるんだなあと連想した。単純だけど。。。。
ゴミ発生のアニメーションを撮影したとき、皮膚を擦ると意外にも多くでた。
皮膚はどの程度影響するかはわからないが、もっと対策を考える必要がある。
誰かが風呂上りに頭を洗ったのちに０．５μｍ以上のParticleを測っていたが、
これが驚くほど多い。「頭の皮膚」だろうかと言ったので「まだ湯気が昇って水
滴」もあるんじゃないかと指摘しておいた。そのうち汗も管理対象になるかも。
その前にヒゲを剃らないと、そこからの発塵が多いこともある。（汪 蓉）
ヘッドライン
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
■ 静電気の基本
■ 環境にやさしい機能水を用いた洗浄技術 第２回「機能水の用途事例と効果」
●『第22回エレクトロニクス実装学会講演大会 IEEE-CPMT企画特別セッション』
●『300mm Prime & 450mm半導体工場の最新動向』－－電子ジャーナル
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
以下本文
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
■ 静電気の基本
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
三菱電機(株)パワーデバイス製作所 園田信夫
ＥＳＤＳ(静電気敏感性デバイス)対策の対象となる工程がある。最近のデバイス
の高集積化・配線幅の縮小化に伴い、デバイスまたはパッケージの静電気に対す
る耐量が低下している。ESDSの最終目的はICなどの電子部品を搭載した製品群で
ある、家電・コンピューター・電装品などの静電気破壊に対する保護であるが、
製造段階から相応の静電気対策が求められている。以下にポイントを示した。
①ウェーハプロセスでは、ＥＳＡによる異物吸着防止がESAよりも重要視される。
ＥＳＤによる破壊は殆ど見られない。
②デバイスの組立工程では、ダイシング時の流動帯電、外観検査からファイナル
テストに到るまでのＨＢＭ、ＣＰＭ、ＣＤＭ、ＭＭ など、どの工程でもＥＳＤ
対策の対象となる。当然ながら導電性作業服、導電性手袋、リストストラップ、
導電靴など種々の処置がなされている。
③出荷時は導電性製品チューブ、導電性の梱包材、輸送時のＥＳＤ対策などが必
要である。製品チューブはＰＶＣ（硬質塩ビ）に導電性コーティングを被覆した
もの、梱包材はカーボン入りのダンプラやパッケージング材が使われている。
これらの製品梱包は無視できない。
④セットメーカー（家電・コンピューター・電装品など）では、電子部品の実装
を伴うので厳しいＥＳＤ対策が要求されている。特に絶縁体であるガラエポ基板
にＩＣ、ダイオード、トランジスター、コンデンサーをメッキ部品にハンダ付け
し実装するため、静電気 が発生しやすく、ネジ締めからハンダ付け、そして基
板の移載から梱包まで種々のＥＳＤＳ対策が必要である。
以上のように、ウェーハ工程を除けばＥＳＤ対策が主流である。
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
■ 環境にやさしい機能水を用いた洗浄技術 第２回「機能水の用途事例と効果」
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
野村マイクロ・サイエンス(株) 柳 基典
半導体やフラットパネルディスプレイの洗浄分野で、機能水は利用されはじめ
ていますが、ほとんどの機能水は、第１回「機能水とは」の機能水の分類で示し
た気体添加型が多く、薬品添加型は、気体添加型の機能を向上させる目的で付加
される場合が多い。したがって、気体添加型の機能水を中心に、用途事例と効果
について、ご説明いたします。
気体添加型の機能水に利用されるガスは、水素ガス、酸素ガス、窒素ガス、炭
酸ガス、オゾンガスなど汎用性があり、取扱量も非常に多いガスが用いられてい
ます。これらのガスを用いて作られる機能水は、それぞれ、水素水、酸素水、窒
素水、炭酸水、オゾン水と呼ばれ、それぞれの持つ効果によって、さまざまな用
途に利用されています。
これら機能水の中で、最も早く実用化されたものは、炭酸水です。ここで、注
釈ですが、あくまでも、飲料水の炭酸水（ソーダ水）ではありません。一般的に
は、商品名として、超純水用比抵抗制御装置などと書かれている装置です。実用
化されてすでに20年以上経過しており、最初に実用化された機能水といえます。
また、近年では、オゾン水や水素水の基盤洗浄への適用研究が盛んに行われ、有
効な成果を得られたことにより、約10年前から、実用化され、特に近年は、環境
対策として、積極的に導入が進んできました。
◎詳しくはウェブページで： http://www.puriken.org/nms-02.htm
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
●『第22回エレクトロニクス実装学会講演大会 IEEE-CPMT企画特別セッション』
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
開催日時：平成２０年３月１７日（月）１３：００～１５：３０
開催場所：東京大学安田講堂
講師： 東北大学／小柳光正教授、九州大学／浅野種正教授(SOPT委員長)、
大阪大学／菅沼克昭教授、東京大学／染谷隆夫助教授
主催： (社)エレクトロニクス実装学会
詳細： http://www.e-jisso.jp/event/taikai/022reg.html
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
●『300mm Prime & 450mm半導体工場の最新動向』－－電子ジャーナル
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
開催日時：２００８年３月１９日（水）９：４０～１６：５０
開催場所：総評会館（東京・御茶ノ水）
講師： ISMI／Scott Kramer氏、TSMC／Raphael Lee氏、半導体技術コンサル
タント／清水保弘氏、Entegris, Inc.／Gary Gallagher氏、e-CATS／林武秀氏、
(株)ブルーシフト・テクノロジーズ／大森宏、(株)ユニスリー・システム／中澤
聖一氏
参加費： ４７，５００円（テキスト代/昼食代/消費税含む）
主催： (株)電子ジャーナル
詳細： http://www.electronicjournal.co.jp/t_seminar/171.html
このメールは、ＳＯＰＴ会員とその紹介者の皆様に配信しております。
今後の配信停止・宛先の変更は、お手数ですがメールアドレスをご明記の上、
このメールにご返信ください。
ＳＯＰＴでは、ＳＯＰＴ会員様からの情報提供をお待ちしております。
詳しくはＳＯＰＴ事務局までお問合せください。
*****************************************************
ピューリフィケーション研究会（SOPT）事務局
二ノ宮（ニノミヤ）／古川（フルカワ）
福岡市博多区博多駅東1-13-9 博多駅東113ビル
日本インテグリス（株）九州営業所内
Phone.092-471-8133/Fax.092-471-8134
mailto:SOPT@entegris.com
URL: http://www.puriken.org
*****************************************************
"Society of Purification Technology" since 1994 | 
