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| SOPT news -- 2008/8/26 【ピューリフィケーション研究会】 ピューリフィケーション研究会（ＳＯＰＴ）会員の皆様へ
北京オリンピックが終わった。今年の２月に北京に行ったが、ある部屋の冬場の 湿度が０％と言う記録があった。念のため再確認したが別の日に１５％であった。 それにしても乾きすぎと思う。湿度が高いと表面に水の吸着膜が張って、電荷は そこを逃げていく。そのときの湿度は概ね４２％だそうである。だから、静電気 対策の湿度管理は重要。基準値はMin４０％なのも納得がいく。 水はここでも大事なんだけど、どうして中国の水は飲めないのかなあ。毎朝、飲 料水売り爺さんが大きな(３０Ｌかな)ボトルを会社に届けに来る。実態は平地が 1000Kmも続くので泥水ばかり。土壌のろ過機能が期待できないので仕方ないか。 でも、風呂の水が赤っぽいのにはいつも泣かされる。（汪藩鎮） ヘッドライン ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ ■ 環境にやさしい機能水を用いた洗浄技術 第８回「これからの機能水と課題」
■ 静電気の基礎知識について
●『半導体“洗浄・乾燥”その役割と製造プロセスでの活用』--半導体産業新聞
●『第１３回 ＳＯＰＴシンポジウム』のお知らせ ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
以下本文 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ■ 環境にやさしい機能水を用いた洗浄技術 第８回「これからの機能水と課題」 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 野村マイクロ・サイエンス(株) 柳 基典 第１回から第７回と、環境にやさしい機能水を用いた洗浄技術として、各種機 能水の用途事例と効果および、機能水の製造方法について述べてきました。今回 は、最終回であり、これからの機能水と課題について述べます。 半導体やフラットパネルディスプレイ分野では、環境にやさしい洗浄技術とし て、機能水は導入されています。機能水を導入することによって、半導体やフラ ットパネルディスプレイ分野では、従来酸やアルカリ溶剤を使用していた洗浄を 、機能水洗浄に切り替えることで、使用薬品を削減することを実現しました。こ れが機能水を使う最大のメリットです。機能水の中でも、オゾン水の用途は非常 に多く、基盤表面の洗浄はもちろんのこと、最近では、第５回「オゾン水の用途 事例と効果２」で述べたように、60ppm以上の高濃度オゾン水によるレジスト剥 離が実用化されつつあるので、この技術が完成すれば、さらに機能水のメリット が際立ってくるものと思われます。 半導体やフラットパネルディスプレイ分野の機能水は、ガス溶解によるもので 、ヘンリー則にそって溶存ガス濃度は決まっており、常温常圧下での利用がほと んどです。しかし、この利用条件の圧力や温度を調整することで溶存ガス濃度を さらにあげることも実現可能です。これは利用先の要求もありますが、高濃度な 溶存ガスの機能水が今後実現できれば、現状にはなかった機能水の効果も期待で き、利用範囲も広がることで、これからも環境にやさしい機能水を用いた洗浄技 術が役立ってゆくものと確信します。
◎詳しくはウェブページで： http://www.puriken.org/nms-08.htm
―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ■ 静電気の基礎知識について ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 三菱電機(株)パワーデバイス製作所 園田信夫 静電気に用いる用語は通常の電気と考え方が異なるので以下に説明する。 ①帯電体が持つ静止状態の電気を静電気という。 ②帯電体の持つ電気量を電荷という。電荷は＋、－の２種類がある。 ③帯電体の相互間に働く力を静電気力という。静電気力はクーロンの法則に従う。 ④帯電体の周囲での電気的歪(引力または斥力)を電界(Electric field：電場)と いう。 ⑤電界内の電界方向の接線を電気力線という。電荷間には必ず存在する。 ⑥電気容量または静電容量CはQ=CVで示される。(Q：総電気量、V：電位差) ⑦静電気力(F)はF=qEで示される。(q：電荷、E：電界の強さ[N/CまたはV/ｍ]) ⑧帯電体に別の帯電体を近づけると静電誘導を生じる。(誘導帯電の原理) 静電気で扱う帯電体とは通常抵抗の高いプラスチックやフィルムなどの絶縁体 が該当する。帯電体には電荷が蓄積されるが、＋と－では吸引力、++や--の同符 号の場合は斥力(反発力)が作用するがこの強さはクーロンの法則に従っている。 クーロンの法則(Coulomb's low)は一般にF=k(q1・q2/r2)で示され距離の2乗に反 比例する。従って、静電気がある場合は必ずクーロン力が作用していると解釈さ れる。これは粒子(ゴミ・異物)を吸引させるESAの理由となるので重要である。 また、電界の強さの単位は[N/C]で示したが一般的には[V/ｍ]が使われている。 抵抗値の単位は[Ω・cm]や[Ω/cm]は同一であり、表面抵抗値の場合は[Ω/□]ま たは[Ω/sq]が用いられている。静電気は金属のような導電体は電子伝導により 抵抗が極めて低く発生しない。一方、不導体の場合は外部電荷によって物体の中 で誘導分極を生じ電荷が分離する。プラスチック等の有機絶縁体(高分子物質)は 外部からの強い帯電体により分子が誘導分極により電荷の偏りを生じるが逆の電 荷が帯電体側で発現する。一方で有機絶縁体の反対側は誘導分極を受けた電荷と は逆の電荷が現れる。この現象は絶縁体分子の極性の有無に係らず発生するもの で「クーロン力」によるものであり、電気力線が存在する。その密度がクーロン 力の強さとなる。その後に、外部の帯電体を取り去っても誘導分極を受けた有機 絶縁体はそのまま静電気を保持し「誘導帯電」を受けた状態となる。誘導帯電は 強い帯電体が近づくだけで発生するので気づかないこともあり十分な注意が必要 となる。 一般に有機絶縁体の分子構造は電子を溜め易く、この性質が材料の抵抗値を支 配している。分子の原子構造には、主量子数や方位量子数のほか、磁気量子数と 電子のスピン量子数があり電子は核の周りを歳差運動によりスピン運動し核運動 量をもっている。この関係は、太陽の周りを回る地球と月の関係に例えられる。 磁気量子数とスピン電子は相補の関係を示し、電子が電界(電場)を示すとき磁気 は磁界(磁場)示し、互いに直交するほか振幅の比は常に一定であり、両者は切り 離せない。この性質は電界が存在する時は磁場が存在することになり「電磁波」 と呼ばれる理由となっている。静電気の本質はここに由来する。静電気の特徴を まとめると「目に見えない静電誘導」「空間で作用するクーロン力」「不導体は 静電気を溜め易い」「静電気の本質は電磁波と共通」となる。 また、ESDには以下の等価回路のモデルがある。 ①ＨＢＭ(Human body model；人体帯電の放電モデル) ②ＭＭ(Machine model；金属製の装置からの放電モデル) ③ＣＤＭ(Charged device model；デバイス導体部からの放電モデル) ④ＣＰＭ(Charged device model；パッケージ帯電部からの放電モデル) パッケージに強力な帯電体が近づくと誘導帯電によりパッケージ表面は＋に帯電 し誘導分極によりチップ表面は－に帯電する。帯電体が遠ざかっても表面は＋に 帯電した状態となる。仮にリード先端に金属などの導体が触れた場合、チップ表 面のマイナス電荷は導体を通じて一気に放電しチップに大電流が流れて破壊する。 HBM、MM、CDMもRやCは異なるが放電メカニズムとしては共通である。しかしなが らCPMの場合、パッケージ表面にはまだ＋の帯電が残っており、この状態で同様 にリード先端に導体が触れると再度放電し、誘導帯電によりESD放電は２回生じ ることになる。
―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『半導体“洗浄・乾燥”その役割と製造プロセスでの活用』--半導体産業新聞 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 開催日時：２００８年９月２４日（木）１３：００－１７：３０ 開催場所：明神会館（東京・御茶ノ水） 講師： ナノフロント研究所／佐藤淳一氏 参加費： ３１，５００円（資料・飲料・税込） 主催： 半導体産業新聞 詳細： http://www.semicon-news.co.jp/forum/htm/h26ev080924-j.htm
―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ●『第１３回 ＳＯＰＴシンポジウム』のお知らせ ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 開催日時：２００８年１１月１４日(金）９：５０－１７：００ 開催場所：福岡朝日ビル（博多駅博多口から徒歩1分） テーマ：「半導体製造プロセスとウェーハ洗浄技術（仮）」 キーワード：ウェーハ、製造プロセス、欠陥、洗浄、機能水、不純物除去
◎詳しくは次回のＳＯＰＴニュースでご案内致します。乞うご期待！
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