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| 環境にやさしい機能水を用いた洗浄技術 第１回「機能水とは？」
野村マイクロ・サイエンス（株）
半導体やフラットパネルディスプレイ分野において、環境にやさしい洗浄技術として、機能水と呼ばれる“水”の採用が進んでいます。環境問題への配慮および生産コスト削減といった両方の視点から導入されはじめ、近年とくに効果が出始めています。まずは、この環境にやさしい機能水について、どのようなものがあるか、ご説明いたします。 機能水と呼ばれている‘水’は、一般的に利用されている分野（医療、医薬、農業、飲料、食品製造、厨房等）や目的（洗浄、殺菌、飲用、美容等）によって様々な定義や解釈が存在しています。また、定義は、特定の化学物質が水に含まれていることを限定しているものではなく、非常にあいまいです。ここで、半導体やフラットパネルディスプレイの洗浄用途を目的とした機能水の場合に限定すると、ある程度の共通項を見出すことが出来ます。そこで、この洗浄分野の機能水について分類してみました。 表１は、半導体やフラットパネルディスプレイの洗浄分野で用いられている機能水について分類したものです。 表１ 機能水の分類
半導体やフラットパネルディスプレイの洗浄分野で用いられる機能水は、取り扱いやすいガスや、流通している汎用薬品を使用している実例が多く、かつ、従来からある薬品による洗浄の代替として利用されているので、機能水を洗浄に用いることで、使用薬品量が低減でき、かつ、排水処理は、大規模な処理設備も不要となり、非常に環境にやさしい技術として、活躍しています。
次回は、｢機能水の用途事例と効果｣について、掲載させていただきます。 |
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