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＜第１０回SOPT Q&Aセミナー プログラム＞
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時間 |
プログラム |
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（敬称略） |
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9:30-10:00 |
開場、受付 |
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10:00-10:10 |
開会の挨拶 |
SOPT副委員長 |
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九州大学大学院システム情報科学研究院 |
宮尾 正信 |
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10:10-11:30 |
「これなら分かる半導体製造プロセス」
‐‐紙芝居で見るトランジスタ形成・多層配線・パッケージング‐‐ |
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半導体産業新聞 |
松下 晋司 |
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11:30-11:50 |
Q&A |
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11:50-12:50 |
昼食（ご準備しております） |
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12:50-14:00 |
「半導体製造プロセスのクリーン化とウェーハ表面汚染評価技術」 |
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（株）東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進センター |
嶋崎 綾子 |
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14:00-14:20 |
Q&A |
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14:20-14:30 |
休憩 |
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14:30-15:30 |
「循環システムにおけるフィルタとポンプの効果」 |
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日本インテグリス（株）
応用技術開発本部 |
千葉 幸司 |
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15:30-15:50 |
Q&A |
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15:50-16:30 |
「静電気の基礎知識と対策方法の基本」 |
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三菱電機（株）パワーデバイス製作所 |
園田 信夫 |
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16:30-16:50 |
Q&A |
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16:50-17:00 |
閉会の辞 |
SOPT事務局長 |
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日本インテグリス（株） |
二ノ宮
敏裕 |
（注）講師および講演タイトルは予告なく変更になる場合があります。予めご了承願います。
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