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「循環システムにおけるフィルタとポンプの効果」 日本インテグリス（株） 応用技術開発本部 千葉 幸司
半導体デバイスのテクノロジーノード65／45nmに向け、液中の粒子管理もさらに厳しくなってきています。バッチ式洗浄装置・枚葉洗浄装置や薬液供給システムにおいて、洗浄槽内や供給タンク内の微小粒子を、より短時間で低減することが求められています。循環システム内の粒子低減を考えるとき、フィルタの粒子除去性能と循環流量がとても大切な因子になります。 本セミナーでは、完全混合モデルを用いて、フィルタの粒子除去性能と循環流量をバランス良く組み合わせた、粒子低減に対し高効率な循環システムについて考えます。また、現在ご使用されているシステムにおいて、微細な孔径のフィルタに変更された場合や、高流量タイプのポンプへ変更された場合に得られる効果を予測する解析方法を紹介します。 |
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