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「静電気の基礎知識と対策方法の基本」 三菱電機（株）パワーデバイス製作所 品質保証部 園田 信夫
半導体デバイスの微細化に伴い、静電気対策の重要性が見直されています。例えば45nmデバイスの製造環境においては、理論的に25nm前後の粒子管理が求められます。ここではESA（静電気による微粒子吸引）が問題となります。一方、組立工程ではESD（静電気放電による破壊）対策が種々とられていますが、「静電気の基礎知識や対策の基本」については、それぞれの解釈が漠然としており、具体的にどう対策するのか曖昧な点が多くあります。 本セミナーでは、静電気の３原則をはじめとする基礎知識を理解した上で、作業者への教育、静電対策用品、除電設備など、各種対策についての基本的な考え方を示します。 |
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