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＜第１１回SOPT Q&Aセミナー プログラム＞
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時間 |
プログラム |
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（敬称略） |
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9:30-9:50 |
開場、受付 |
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9:50-10:00 |
開会の挨拶 |
SOPT副委員長 |
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九州大学大学院システム情報科学研究院 |
宮尾 正信 |
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10:00-10:30 |
キーノートスピーチ
「金属不純物および結晶欠陥の影響のデバイスによる違い」
‐‐先端MOSデバイスとパワーデバイスの比較を中心として‐‐ |
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三菱電機（株）パワーデバイス製作所 |
山本 秀和 |
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10:30-11:45 |
「これなら分かる半導体製造プロセス」
‐‐紙芝居で見るトランジスタ形成・多層配線‐‐ |
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半導体産業新聞 |
松下 晋司 |
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11:45-12:00 |
Q&A |
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12:00-13:00 |
昼食（ご準備しております） |
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13:00-14:15 |
「クリーンルームの環境制御技術動向」 ‐‐汚染・静電気・CO2削減‐‐ |
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(株)テクノ菱和 技術開発研究所 |
田村 一 |
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14:15-14:30 |
Q&A |
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14:30-14:40 |
休憩 |
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14:40-15:40 |
「３次元ＬＳＩを含めた先端デバイス技術の動向」 |
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九州大学大学院システム情報科学研究院 |
浅野 種正 |
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15:40-15:50 |
Q&A |
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15:50-16:40 |
「ＴＳＴによるレジストディスペンスの基礎と応用」 |
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日本インテグリス（株）商品企画本部 |
本間 仁 |
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16:40-16:50 |
Q&A |
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16:50-17:00 |
閉会の辞 |
SOPT事務局長 |
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日本インテグリス（株） |
二ノ宮 敏裕 |
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総合司会 |
SOPT副委員長 |
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三菱電機（株）パワーデバイス製作所 |
園田 信夫 |
（注）講師および講演タイトルは予告なく変更になる場合があります。予めご了承願います。
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