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「TSTによるレジストディスペンスの基礎と応用」 日本インテグリス（株） 商品企画本部 本間 仁
半導体製造プロセスにおけるレジスト塗布工程において、ユースポイントろ過の最適化と塗布状態の長期安定を目指して実用化された、ツーステージ・ディスペンス・テクノロジー（TST）の概念は、現実の問題解決を通じて多くのお客様で支持され、継続的な小型化、インテリジェント化により、業界に受け入れられるようになった。 本講演では、TSTの構造､原理、特徴と利点などの基礎的な技術について説明するとともに、TSTの特徴を活かした最新の応用事例について紹介する。 |
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