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「クリーンルームの環境制御技術動向」 ‐‐汚染・静電気・CO2削減‐‐ (株)テクノ菱和 技術開発研究所 田村 一
半導体や液晶製造等に代表されるクリーンルームにおいて、制御すべき項目は清浄度、気流、静電気、温湿度など多岐に渡っているが、近年の製造プロセス発展のなか、より高度な汚染制御技術や静電気制御技術などのほか、地球環境対策としてCO2排出量の削減が求められている。 そこで本講演では、「クリーンルームの環境制御技術動向」と題し、4月に開催されたばかりの「空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会（主催：（社）日本空気清浄協会）」から最新の研究動向を紹介するほか、イオン搬送による除電技術を含めた静電気対策技術、またCO2削減技術として、低温排熱を利用した気化式加湿型空調機の概要を紹介する。 |
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