PURIFICATION研究会<SOPT> 第7回Q&Aセミナーのご案内
<SOPT>会員各位に於かれましては、時下ますますのご清栄のこととお慶び申し上げます。
「2003年度 第7回 SOPT Q&Aセミナー」をご案内申し上げます。
本セミナーは、単に講演だけでなく、様々な観点からの質問にお答えができるようパネルディスカッションの時間を設けました。
なお、本セミナーにご関心の高い方であれば、非会員の方もご参加いただけます。どうぞ奮ってご参加下さいますよう、ご案内申し上げます。
《開催要項》
日時: 平成15年6月18日(水) 10:00〜17:00
場所: アスクビル(博多駅筑紫口より徒歩約5分)
福岡市博多区博多駅東1丁目16−25 Phone. 092-411-0026
参加費用: 4、000円(テキスト/昼食を含みます。)
当日現金にて受付
申込締切: 平成15年6月6日(金)
《主なプログラム》(順不同・敬称略)
『金属除去フィルターと金属除去性能』
日本マイクロリス(株)商品技術開発本部 橋本 幸雄
『先端ラインのクリーン化技術とその事例』
(株)東芝セミコンダクター社 半導体プロセス開発第四部 嶋崎 綾子
『FOUPを利用した300mmプロセスの清浄化』
信越ポリマー(株)精密製品事業部 古川 幹雄
『半導体プロセス入門』
九州工業大学 マイクロ化総合技術センター 浅野 種正
『パネルディスカッション』
講師全員
総合司会 三菱電機(株) 園田 信夫
SOPT運営委員長 九州大学大学院システム情報科学研究科 渡辺 征夫
《申込み・問合せ先》
申込み及び問合せはSOPT事務局までご連絡下さい。
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