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＜SOPT第8回Q&Aセミナー プログラム＞
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時間 |
プログラム |
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（敬称略） |
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9:50-10:00 |
開場、受付 |
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9:50-10:00 |
開会の挨拶 |
SOPT委員長 |
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浅野 種正 |
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10:00-11:30 |
「ULSIプロセス技術入門」 |
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九州工業大学マイクロ化総合技術センター |
浅野 種正 |
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11:30-12:00 |
Q&A |
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12:00-13:00 |
昼食（ご準備しております） |
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13:00-14:30 |
「クリーン化の基礎と最新技術」 |
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（株）テクノ菱和
技術開発研究所 |
田村 一 |
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14:30-15:00 |
Q&A |
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15:00-15:15 |
休憩 |
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15:15-16:20 |
「薬液用フィルタの基礎と最新技術」 |
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日本マイクロリス（株）応用技術開発部 |
甘利
陸浩 |
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16:20-16:50 |
Q&A |
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17:15-17:20 |
閉会の辞 |
SOPT事務局長 |
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（日本マイクロリス（株）） |
二ノ宮
敏裕 |
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総合司会 |
SOPT副委員長 |
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（三菱電機（株）パワーデバイス事業統括部） |
園田
信夫 |
（注）講師および講演タイトルは予告なく変更になる場合があります。予めご了承願います。
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