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＜第９回SOPT Q&Aセミナー プログラム＞
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時間 |
プログラム |
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（敬称略） |
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9:30-9:50 |
開場、受付 |
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9:50-10:00 |
開会の挨拶 |
SOPT委員長 |
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九州大学大学院システム情報科学研究院 |
浅野 種正 |
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10:00-10:15 |
キーノートスピーチ |
SOPT副委員長 |
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三菱電機（株）パワーデバイス製作所 |
園田
信夫 |
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10:15-11:30 |
「半導体シリコン結晶の欠陥制御エンジニアリング」 |
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(株)ＳＵＭＣＯ 評価技術部 |
定光 信介 |
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11:30-12:00 |
Q&A |
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12:00-13:00 |
昼食（ご準備しております） |
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13:00-14:30 |
「コアテクノロジーとしての局所クリーン化生産システム」 |
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（独）産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門 |
原 史朗 |
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14:30-15:00 |
Q&A |
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15:00-15:15 |
休憩 |
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15:15-16:20 |
「インテグリスのFOUP／FOSB」 |
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日本インテグリス（株） |
芥河 千恵子 |
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16:20-16:50 |
Q&A |
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16:50-17:00 |
閉会の辞 |
SOPT事務局長 |
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日本インテグリス（株） |
二ノ宮
敏裕 |
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総合司会 |
SOPT副委員長 |
園田
信夫 |
（注）当初予定しておりました上海Simgui社による講演は、 都合によりSUMCO様の講演に変更させていただきました。
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