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「コアテクノロジーとしての局所クリーン化生産システム」 （独）産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門 先端シリコンデバイスグループ 原 史朗
局所クリーン化生産システム（FOUP-AMHS）は、半導体前工程工場に飛躍的生産性をもたらしたが、この新しいイノベーションテクノロジーはまだ実用化第一段階にある。クリーン化システムとしての側面だけでなく生産性革新の点で、今後経営に資するコアテクノロジーとして長期的に実力を発揮してゆく可能性に注目する必要がある。 具体的には、まず、製造物と人との環境分離を完全にするようにシステムのパーティクル遮断性能をずっと向上させることで、次世代においては、真にジーンズをはいての作業を実現して超高品質でローコストな製造が可能になり、ファブの有り様が大きく変容する。 また、さらに高性能なガス遮断型局所クリーン化生産システムが将来的に開発されると、これまで、局所管理か一元グローバル管理かの統一指針が存在しなかったパーティクル、ケミカル、水分管理を統一的局所管理で行うことが出来る。 ガス遮断型は、現在でもすでに大課題となりつつある、不完全なプロセス技術が生産段階に渡されることによる歩留まり問題〜すなわちアナログ歩留まり問題の顕在化に対して、大変効果的に品質を保持する能力を有している。 本セミナーでは、局所クリーン化生産システムの今後の展開について、産総研での基礎実験事例を含めて解説し、開発指針と課題を明らかにする。 |
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