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「コアテクノロジーとしての局所クリーン化生産システム」 日本インテグリス（株） グローバルプロダクトサポート 芥河 千恵子
300ｍｍウェーハ容器のミニエン（FOUP）という概念は、SEMIのグローバルスタンダード活動により業界に受け入れられ、インプリメントされたが、机上で議論されたスタンダードが現在の実用レベルに至るまでに、様々な問題に直面してきた。本セミナーでは、FOUPの導入当初にみられた一般的な諸問題を含めたFOUPの概要についてと、窒素パージのアプリケーション実例やインテグリス最新のFOUP技術、また実用化が目前であるFOUPと同じ装置インターフェースを持つFIMS・FOSBついても触れ、FOUP/FOSBについて解説していく。 |
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