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講演要旨 園田様
講演要旨 上田様
講演要旨 上杉様
講演要旨 濱田様
講演要旨 三平様
講演要旨 野村様

＜SOPT第１０回シンポジウム　プログラム＞

時間 プログラム 　 （敬称略）
9:30-9:50 開場、受付 　 　
9:50-10:00 開会の挨拶

SOPT委員長

 　
　 九州工業大学マイクロ化総合技術センター 浅野 種正
10:00-11:00 「最新クリーン化技術の動向」

SOPT副委員長

 　
　 三菱電機（株）パワーデバイス製作所 園田 信夫
11:00-12:00 「炭酸エチレンを用いた環境にやさしいレジスト塗布カップの清浄化技術」
　 （株）ナムテック 上田 光洋
12:00-12:50 昼食（ご準備しております） 　
12:50-13:50 「プラズマ装置内の剥離パーティクルの挙動と無塵化対策」 　
　 NECエレクトロニクス（株）基盤技術開発事業本部 上杉 文彦
13:50-14:50 「次世代の欠陥検査のためのイノベーティブテクノロジー」
　 アプライドマテリアルズジャパン（株）PDC事業部 濱田 英明
14:50-15:00 休憩 　 　
15:00-16:00 「ウエハレビューSEMの技術と応用」
　

日本電子（株）半導体機器事業部

 三平 智宏
16:00-16:40 「半導体プロセス用フィルターの開発テクノロジー」 　
　 日本マイクロリス（株）リキッドフィルター商品開発部 野村 芳城

16:40-16:55

Ｑ＆Ａ（講師全員）

コーディネーター

浅野 種正
16:55-17:00 閉会の辞 SOPT事務局長 　
　 　 日本マイクロリス（株） 二ノ宮 敏裕
　 総合司会 SOPT副委員長 　
　

九州大学大学院システム情報科学研究院

 宮尾 正信

　

（注）講師および講演タイトルは予告なく変更になる場合があります。予めご了承願います。

　

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最終更新日 : 2008/01/09