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「最新クリーン化技術の動向」 三菱電機（株）パワーデバイス製作所 パワーデバイス品質保証部 園田 信夫
300mmFabはFOUP（Front Opening Unified Pods）の導入と自動搬送システムの併用によってミニエン化技術が大きく注目された。組立工程もESDS（Electrostatic sensitive device; 静電気敏感性デバイス）に対し静電気対策が再認識される一方で、ミニエンが応用されクリーン化技術はますます重要性を増している。 特に、ミニエンFOUPはAMHS（Automated Material Handling System）の汎用化により、工程内搬送量の増大化・搬送時間の短縮化に対応すべく、多品種・変量・緊急生産に対応するうえ有機汚染対策にも効果がある。また、クリーン化技術は装置・計測器・材料メーカーがイニシアティブをとる傾向がある。さらに、FOUPでの自己汚染が顕在化しており、その現状と課題について述べる。 後工程での動向は、5S・静電気対策など基本技術が重要で、既存ラインの高清浄度化改造が進んできたことを述べる。 |
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