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「半導体プロセス用フィルターの開発テクノロジー」 日本マイクロリス（株） リキッドフィルター商品開発部 野村 芳城
マイクロリスのフィルター製品は、大きく分けてメンブレン、デザイン、素材/組み立て、製品評価、洗浄の5つの基礎技術から成り立っている。 メンブレンは当社製品に代表されるUPE、PTFEメンブレンを始め、UPE・PTFEのホローファイバー、及びこれらのメンブレンを基材とした様々な表面処理を施した膜を自社開発している。デザイン面では、典型的にレジストコーティングのPOUフィルターに使用されるワンタッチ脱着タイプ、カートリッジ交換が容易なフィルターハウジング、親水化処理が不要なプリウエットタイプ、独自のプリーツ構造による高流量フィルターなど、独自のデザインによる製品群を開発、製造、販売している。素材及び組み立てでは、オールフッ素樹脂製のカートリッジ、熱溶着タイプのホローファイバー、各種O-リングレスタイプ、等の新規開発の組み立て技術による製造とUPE、低溶出PE素材、等の素材も選定使用している。製品製造の最終工程では独自の洗浄技術により、よりクリーンな製品の提供を目指している。 これら、マイクロリスのフィルター製品開発における独自の技術及び製品を紹介する。 |
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