SOPT第11回シンポジウムプログラム

時間	プログラム		（敬称略）
9:30-10:00	開場、受付
10:00-10:10	開会の挨拶	SOPT委員長
	九州大学大学院システム情報科学研究院		浅野種正
10:10-11:10	「クラス１００００環境の適切な設置と管理」
	シーズシー（有）代表		稲永健
11:10-12:10	「３００ｍｍウェーハキャリアのパージ機能」
	Entegris, Inc.　スティーブン・サムナー
12:10-13:00	昼食（ご準備しております）
13:00-14:00	特別講演「32nmのリソグラフィを考える---液浸露光の最新動向と今後の展開---」
	（株）ニコン精機カンパニー開発本部		龜山雅臣
14:00-15:00	「ウェーハコンタミネーションの原子スケール制御」
	（独）産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門		原史朗
15:00-15:15	休憩
15:15-16:15	「ケミカルフィルタによるガス精製技術と電子デバイス製造への適用」
	日本インテグリス（株）応用技術開発部		大屋敷靖
16:20-16:50	Ｑ＆Ａ（講師全員）
16:50-17:00	閉会の辞	SOPT事務局長
		日本インテグリス（株）	二ノ宮敏裕
	総合司会	SOPT副委員長
	三菱電機(株)パワーデバイス製作所		園田信夫