「ケミカルフィルタによるガス精製技術と電子デバイス製造への適用」

日本インテグリス（株）

応用技術開発部

大屋敷 靖

固体状の不純物（パーティクル）に加え、気体として存在する不純物の制御が、先端電子デバイスの歩留まり改善に必須となっています。
気体状不純物の除去には、ケミカルフィルタが広く用いられていますが、使用環境や用途に応じて、その形状および精製機構は大きく異なります。電子デバイスの製造装置および保管環境のクリーン化、あるいは材料ガスの純化において使用されるケミカルフィルタの特徴、および求められる特性について紹介します。

また、ケミカルフィルタを選定する際には、使用ガス種に対して精製剤が適合性を有していることが重要となります。この選定を誤ると、単にケミカルフィルタが機能しないだけではなく、重大な事故につながることもあります。ケミカルフィルタを使用する際に注意すべき項目について、各種精製剤の特徴とあわせて説明します。

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最終更新日 : 2008/01/09