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「クラス10000環境の適切な設置と管理」 シーズシー(有) 代表取締役 稲永 健
クリーン化技術のニーズはここ数年来、半導体業界を頂点としたピラミッドの裾野のようにあらゆる業種・業界へと拡大を見せています。 従来ではクリーンルームとはまったく無縁のように思われていた業種・業界でも、製品の品質安定や“きれいさのイメージ”がユーザーの要求に適応することから、より高清浄なクリーンルームが必要とされています。 ところで、この拡大するクリーン化ニーズのほとんどが「クラス1万」をターゲットにしていると言われています。一体なぜ、クラス1万なのでしょうか? また、実際にクラス1万のクリーンルームを設置するにはどんなことに注意し、どのように管理すればよいのでしょうか? 今回は、微粒子可視化のデータやエアシャワーの効果など各種実験の結果を検証することで、従来からのいわゆる「定説」を見直しを行います。 そういったことを踏まえて適切なクラス1万の設置と管理について考えてみたいと思います。 |
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