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「３００ｍｍウェーハキャリアのパージ機能」 Entegris, Inc. Dir. Applied Technologies スティーブン・サムナー
ウェーハキャリアには分子状汚染物質（AMC）や水分など、デバイス品質に悪影響を与える環境物質からウェーハを保護する性能が求められます。しかし実際にはキャリアを完全密閉することは困難であり、キャリア内に環境物質が侵入し保持される場合があります。 インテグリスはこれまで、キャリアのパージ機能および効果について、他社に先駆けて社内試験や共同評価を行なってきました。本講演ではキャリアパージの必要性から評価データ、市場における導入状況、今後の動向について示します。 |
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