PURIFICATION研究会＜SOPT＞　第６回シンポジウムのご案内

<SOPT>会員各位に於かれましては、時下ますますのご清栄のこととお慶び申し上げます。
「2001年度　第６回  SOPTシンポジウム」をご案内申し上げます。

本シンポジウムは、単に講演だけでなく、様々な観点からの質問にお答えができるようパネルディスカッションの時間を設けました。
なお、本シンポジウムにご関心の高い方であれば、非会員の方もご参加いただけます。どうぞ奮ってご参加下さいますよう、ご案内申し上げます。

《開催要項》
日時： 平成１１年１１月６日（火）　９：４５〜１８：００
場所： 九州大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
福岡市東区箱崎６−１０−１　Phone.092-642-4011
参加費用： ５､０００円（テキスト/昼食を含みます。）
申込締切： 平成１１年１０月３１日

《主なプログラム》（順不同・敬称略）
『ケミカルフィルターによるクリーンルーム汚染物質の除去』

日本ピュアーテック（株） 技術開発部 苅部 文夫

『トラブルシューティングの為の使用済ガスフィルター分析事例』

日本マイクロリス（株） アプリケーションラボラトリー部 大屋敷 靖

『クリーンルームのランニングコスト低減と気流性状』

日立プラント建設（株）空調プラント事業本部技術本部 鈴木 道夫／平田 順太

『0.15μmデバイス以降のクリーン化技術』“ミニ・エンバイロンメント”の概要

三菱電機（株）ULSI技術開発センター 藤井 淳弘

『0.15μmデバイス以降の分析・評価技術の一例について』 エッチングプロセスのモニタリング、ウエハ表面微量有機分析について

日本電子（株）応用研究センター 小倉 一道／大木 貞嗣

『パネルディスカッション』
講師全員

総合司会　三菱電機（株） 園田 信夫
SOPT運営委員長　九州大学大学院システム情報科学研究科　渡辺 征夫

《申込み・問合せ先》
申込み及び問合せはSOPT事務局までご連絡下さい。

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最終更新日 : 2008/01/09