PURIFICATION研究会＜SOPT＞　第７回シンポジウムのご案内

<SOPT>会員各位に於かれましては、時下ますますのご清栄のこととお慶び申し上げます。
「2002年度　第７回 SOPTシンポジウム」をご案内申し上げます。

今年のシンポジウムは、“130nm Device以降のクリーン化技術”がテーマです。

単に講演だけでなく、様々な観点からの質問にお答えができるようパネルディスカッションの時間を設けました。
なお、本シンポジウムにご関心の高い方であれば、非会員の方もご参加いただけます。どうぞ奮ってご参加下さいますよう、ご案内申し上げます。

《開催要項》
日時： 平成１４年１１月１４日（木）　９：３０〜１７：３０
場所： 九州大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
福岡市東区箱崎６−１０−１　Phone.092-642-4011
参加費用： ５､０００円（テキスト/昼食を含みます。）
申込締切： 平成１４年１１月７日

《主なプログラム》（順不同・敬称略）
『130nm以降のクリーン化技術の動向』

三菱電機(株)ULSI開発センター　園田 信夫

『分子状汚染物質に関する規格化と汚染対策の技術動向』

(株)テクノ菱和 技術開発研究所　田村 一

『クリーンルーム内パーティクル可視化技術（アニメーションのよる評価技術）』

新日本空調(株)技術研究所　岡本 隆太

『チタン触媒による無塵服及び副資材のアンモニア臭分解』

(株)ガードナー　山本 徹

『ガス精製技術』

日本マイクロリス(株)商品技術開発本部　大屋敷 靖

総合司会　九州工業大学マイクロ化総合技術センター　浅野 種正
SOPT運営委員長　九州大学大学院システム情報科学研究科　渡辺 征夫

《申込み・問合せ先》
申込み及び問合せはSOPT事務局までご連絡下さい。

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最終更新日 : 2008/01/09