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＜SOPT第9回シンポジウム プログラム＞
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時間 |
プログラム |
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（敬称略） |
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9:30-10:00 |
開場、受付 |
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10:00-10:10 |
開会の挨拶 |
SOPT委員長 |
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九州工業大学マイクロ化総合技術センター |
浅野 種正 |
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【第一部】 |
座長：SOPT副委員長 |
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三菱電機（株）パワーデバイス製作所 |
園田
信夫 |
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10:10-10:25 |
キーノートスピーチ |
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園田
信夫 |
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10:25-11:25 |
「ウエーハ最終外観検査の高速化と最新動向」 |
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東レエンジニアリング（株）エレクトロニクス事業本部 |
川口 浩志 |
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11:10-12:10 |
「ウェーハ外観検査の課題と最新技術」 |
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（株）アクレーテク・マイクロテクノロジ |
大金 淳一 |
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12:10-13:10 |
昼食（ご準備しております） |
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【第二部】 |
座長：SOPT副委員長 |
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九州大学大学院システム情報科学研究院 |
宮尾 正信 |
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13:10-14:10 |
「不良解析の最新動向」 |
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（株）日立ハイテクノロジーズ |
三井 泰裕 |
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14:10-15:10 |
「可視化によるパーティクル汚染現象の検討」 |
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広島大学大学院工学研究科物質化学システム専攻 |
島田 学 |
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15:10-15:25 |
休憩 |
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15:25-16:25 |
「プロセスフィルタの清浄化技術」 |
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日本マイクロリス（株）応用技術部 |
甘利 睦浩 |
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16:25-16:55 |
Ｑ＆Ａ（講師全員） |
コーディネーター |
浅野 種正 |
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16:55-17:00 |
閉会の辞 |
SOPT事務局長 |
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日本マイクロリス（株） |
二ノ宮
敏裕 |
（注）講師および講演タイトルは予告なく変更になる場合があります。予めご了承願います。
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