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「可視化によるパーティクル汚染現象の検討」 広島大学大学院工学研究科 物質化学システム専攻 島田 学
微粒子汚染は、様々な産業における古くて新しい課題である。とくに電子デバイスや太陽電池の製造などにみられる微細構造形成や大面積処理工程においては、成膜やエッチングなどを行う製造装置内での汚染現象が問題となる場合が増大しているが、未だに解明・解決すべき点が多い。 本講演では、微粒子汚染による製造阻害が深刻であるプラズマプロセッシング装置を主な対象として、ダスト粒子の発生や輸送現象を理解するために、レーザ光散乱にもとづいた可視化計測を行い、さらに基板や装置壁の微粒子汚染との関係を考察した結果について述べる。また、この成果をふまえて、微粒子の発生や壁面への輸送を抑制し汚染の低減を試みた研究も紹介する。 |
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